OLED有機無機蒸發鍍膜系統配手套箱
參考價 | ¥ 90000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/21 10:13:51
- 訪問次數 14
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡單介紹:
OLED有機無機蒸發鍍膜系統配手套箱以金屬/有機源蒸發為主體,適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜等詳情介紹:
一、設備性能:
OLED有機無機蒸發鍍膜系統配手套箱以金屬/有機源蒸發為主體,適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜等,也可用作教學及生產線前期工藝試驗等,整套設備操作簡便,綜合功能多,擴展空間大,適合及滿足大專院校的教學與科研工作。
二、設備基本結構:
鍍膜設備由真空室腔體,金屬/有機源系統,樣品臺系統,真空泵機組,膜厚檢測系統,設備機架,電控系統組成,真空室前門可與手套箱對接,采用一體化的設計方案,整套設備結構緊湊、布局簡潔,避免實驗設備外觀凌亂的現象。
適應領域:
適用于制備金屬電極、鈣鈦礦太陽能電池、OLED、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于于小批量及中試生產或大批量生產前的試驗工作。
產品特點:
設備兼容有機/無機蒸發,可實現多元分蒸或共蒸獲得多層膜、復合膜,性能穩定,尤其溫控有機蒸發源不僅角度可調,均勻性好,同時可通過進口膜厚儀聯動控制實現速率**控制、摻雜;樣品臺可升降調整源-基片距離,有效節約貴重材料,降低實驗成本;
ATTO10全自動高真空電阻蒸發鍍膜系統采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統,采用IPC+network技術,實現整機主要部件的參數化設置、實施實時監控及故障智能診斷以及膜厚全自動監控,有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外,其它操作過程全部在PC上使用軟件控制;提供真空系統、工藝設置、充放氣系統等友好人機操作界面;在工控機上可通過配方設置參數,實現對程序工藝過程和設備參數的設置、儲存和打印。
膜厚全自動監控系統,自動設計、工藝讀入、參數設置、實時監控等功能,實現整個鍍膜過程的全自動控制。可以設置數十層甚至上百層的膜層控制,簡單實現單層或多層共蒸。
三、設備技術指標:
產品名稱 | 帶手套箱六源蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX | |
真空室腔體 | 外形 | 上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套,真空室內部尺寸 D400*480mm,前后開門,后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內部調試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門,前后門各配 DN100 視窗 1 套; |
底部 | 金屬源接口 2 套,有機源接口 4 套, 復合分子泵接口 1 套,CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套; | |
頂部 | 樣品臺接口 1 套,電動擋板接口 1 套,高真空氣動擋板閥接口 1 套 | |
左側 | 超高真空氣動擋板閥接口 1 套 | |
金屬/有機源系統 | 金屬蒸發源 | 金屬蒸發源 2 套:水冷銅電極 2 組,兼容蒸發舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲,配氣動擋板,1KW 直流恒流電源 1 臺(數字顯示),電流調整精度 1A(微調),功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍; |
有機蒸發源 4 套 | 有機蒸發源 4 套:4CC(4ml) 石英舟,溫控電源 2 臺(溫控表顯示精度 0.1℃),溫度區間:室溫-500℃(控溫精度±1℃),配氣動擋板; | |
隔板 | 蒸發源相互獨立,隔板分隔,避免交叉污 | |
樣品臺系統 | 基片旋轉 | 轉速 0~30 轉/分連續可調 |
基片升降 | 電動升降,襯底與蒸發源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續可調; | |
樣品臺 | 圓形托盤 1 套,一次可放置8片20×20mm 基片 | |
基片擋板 | 電動擋板 | |
真空泵機組 | 1) 600L/s分子泵 1 臺; 2) 8L/s雙級泵 1 臺 3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺; 4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺; 5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺; 6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺; 7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺; 8) KF40 泵閥連接軟管 2 套,KF40 三通 1 套; | |
膜厚檢測系統 | 膜厚儀 | 三通道石英晶振膜厚監測儀 1 套; |
膜厚探頭 | CF35 水冷膜厚探頭 3 套 | |
設備機架 | 1) 40 碳鋼方管焊接機架 1 套,表面噴塑; 2) 萬向輪 4 件,移動調整; 3) M16 地腳 4 件,鎖緊定位 | |
電控系統 | 金屬源蒸發源氣動擋板 | 2套 |
金屬蒸發源電源1kw | 1套 | |
有機源蒸發源氣動擋板 | 4套 | |
有機蒸發源電源 | 2套(1帶2) | |
烘烤照明電源 | 1 臺 | |
樣品臺電動擋板 | 1套 | |
總控制電源 | 1套 | |
PLC 控制 | 配觸摸屏 | |
手套箱 | 腔體尺寸 | L1200* W750* H900mm |
手套 | 3只 | |
大過渡艙 | 內徑360mm, 長 600mm | |
小過渡艙 | 內徑150mm, 長300mm | |
其他技術參數 | 1) 缺相保護、誤操作保護,聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能; 2) 供電:~220V 兩相供電系統(峰值 3KW); 3) 供水:小型冷水機,冷卻水溫度 5℃~35℃,工作環境溫度:10℃~40℃; 4) 供氣:小型無油氣泵,提供 0.2-0.3MPa 氣壓,驅動氣動閥門; 5) 極限真空:優于 6×10-5Pa,大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘(充干燥氮氣),關機 12 小時真空度≤10Pa。 |