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| 3C閥門類別 | 工業 | 流動方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
在腐蝕性工藝環境下提供可靠隔離采用 L-VAT 技術的 04.2 傳輸閥特別適合腐蝕性工藝，如蝕刻或 CVD。L-VAT 技術通過單軸氣動驅動器提供閥板的 J 型運動。在 J 型運動中，閥板在不接觸閥體的情況下垂直移動到關閉位置，在最后的運動中被水平推到閥座上（密封件以固定力接觸閥座，該固定力與所連接的空氣壓力相關）。
為大程度地減少粒子的產生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標準 O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標準 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
斷電時，04.2 系列可通過選配的止回閥氣動鎖定在關閉和打開位置。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設計用于延長免維護運行（在維護前開關次數 ≤ 300 萬）。
04.2 系列已經安裝在數百個各種半導體生產流程的要求苛刻的應用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅固的設計，減少了維護量，使維護更方便，在各個方面都令人信服。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT始終根據客戶規格要求量身定制。盡管如此，四個基礎設計類型已預定義：兩種具有不同的后側開口的閥門類型和兩種帶有內腔或外腔閥座的嵌入型閥門類型。
閥體材料選擇有硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁。閥板和閥蓋密封件采用氟橡膠或全氟橡膠材料。可根據要求使用其他密封材料。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT的主要特點
特點：
可在腐蝕性工藝條件下實現可靠運行
平滑且低沖擊的運動
采用避免粒子生成和產生的 L-VAT 技術
波紋管密封軸饋通件
免維護周期延長
優勢：
正常運行時間長/性能不受限
運行快速
運行成本低
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
技術數據
| 尺寸 | 46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| 驅動器 | 氣動 | 雙作用，帶位置指示器 | |
| 閥體材料 | 鋁 | ||
| 饋通件 | 波紋管 | ||
| 泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar（絕對壓強） | ||
| 壓差 | 閥板上 | ≤ 1.2 bar | |
| 打開時 | ≤ 30 mbar | ||
| 首維護前開關次數 | ≥ 300萬次 | ||
| 溫度 | 閥體 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | |
| 閥板 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | ||
| 加熱和冷卻速率 | ≤ 40 °C h-1 | ||
| 閥座/閥板溫差 | < 40 °C | ||
| 材料 | 閥體、閥板、檢修蓋 | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| 軸、波紋管端件 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 波紋管 | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 閥蓋 | 氟橡膠 | |
| 閥板 | 氟橡膠 | ||
| 安裝位置 | 驅動器可向下安裝 | ||
| 脈沖電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（可根據要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：觸點額定值 | 電壓 | ≤ 50 VDC | |
| 電流 | ≤ 250 mA | ||
| 電源 | ≤ 10 W | ||
| 連接 | 9 針 D 形超小型連接器 | ||
| 壓縮空氣連接 | 未配備電磁閥 | 內部螺紋 ?“ ISO/NPT | |
| 配備電磁閥 | 內部螺紋 M5 | ||
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