| 3C閥門類別 | 工業 | 流動方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
適用于最小氣流的高精度計量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。該系列閥門采用全金屬設計，是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計量要求的理想選擇。
59.0 系列的特殊控制功能確保可重復的精確氣流設置，增強了過程控制能力。其還能在整個使用壽命內提供可靠的密封關閉，不會出現任何密封疲勞風險。
此外，59.0 系列采用全金屬設計（高級不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封），因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。
59.0 系列已經安裝在數百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應用中可變泄漏閥的標準解決方案。
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內聯閥，帶手動驅動器，或帶配有步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據烘烤過程中的情況，可以在烘烤過程中取下驅動器。標準法蘭為 CF-R，固定到位。
隔膜采用“硬對硬”密封技術，閥門在整個使用壽命內可進行 40 萬次控制循環和 1 萬次密封關閉循環，無需任何維護，其可作為零部件使用，并且易于更換。
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點
特點：
適用于最小氣流的高精度氣體計量
精確可重復的氣流設置
可靠的持續密封
耐腐蝕和腐蝕性氣體
優勢：
在極小氣流下可實現最佳壓力控制
工藝可控性增強
正常運行時間長
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
技術數據
尺寸 | DN 16 (?") | |||
|---|---|---|---|---|
驅動器 | 手動 | 方向盤 | ||
帶步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器 | ||||
閥體材料 | 不銹鋼 | |||
標準法蘭 | CF-R | |||
密封技術 | 隔膜 | |||
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
閥座 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
壓力范圍 | 超高真空至 2bar（絕對壓強） | |||
| 壓差 | 打開時 | ≤ 10 bar | ||
死區 | 角閥： | 閥座側 側端口 | 2.7 cm3 1.1 cm3 | |
內聯閥： | 閥座側 側端口 | 0.98 cm3 1.01 cm3 | ||
首維護前開關次數 | 20 000 | |||
烘烤溫度 | 閥體 | ≤ 300 °C | ||
手動驅動器 | ≤ 300 °C | |||
帶步進電機的控制器 | ≤ 50 °C | |||
加熱和冷卻速率 | ≤ 60 °C h-1 | |||
材料 | 閥體 | AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) | ||
隔膜 | AISI 301 (1.4310), 鍍金 | |||
安裝位置 | 任何位置 | |||
閥門位置指示 | 視覺（比例） | |||
流導（分子流） | 0.05 ls-1 | |||
可調節氣流 | 1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1 | |||
重量 | 帶手動驅動器 | 0.94 kg / 2.07 lbs | ||
帶受控步進電機 | 2.5 kg / 5.5 lbs | |||
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