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英福康UL1000(fab)氦質譜檢漏儀

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      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權代理商,專業銷售INFICON旗下的真空產品及設備,同時致力于先進真空技術的推廣和應用,為廣大用戶改進生產工藝,提升競爭力提供產品服務和技術支持。

      目前,公司所經營的產品主要有三大類: 一、膜厚控制/監測系統,產品包括膜厚控制儀、膜厚監測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統,產品有氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監測/控制系統,產品主要包括:真空規、壓強控制儀、質量流量計、真空閥門、真空密封件等;產品應用覆蓋光電技術、太陽能薄膜、半導體制造、照明電器、空調制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業和領域。公司本著“積極進取、開拓創新”的精神,不斷提升專業技能、完善運營細節,兢兢業業、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術支持和更加完善的售后服務。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進步”。我們以我們的誠信和服務贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標,期待更多新老朋友來電來函咨詢業務,洽談合作!







氦質譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

應用領域 化工,電子,綜合

英福康UL1000(fab)氦質譜檢漏儀

INFICON(德國)UL1000 fab移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應精準迅速,系統安可靠等特點。

UL1000 fab符合微電子工業生產的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪 ,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則,都無不顯示了其*性。

系統軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護功能。英福康UL1000(fab)氦質譜檢漏儀的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染。

UL1000 fab氦質譜檢漏儀具有可轉動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息,這樣可遠距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件,新的固件可通過標準接口在數分鐘內完成安裝。

應用:

1、半導體工藝設備的維護,該設備本身帶或未帶有渦輪分子泵

2、工藝氣體系統的檢測與安裝

3、元器件在組裝前的漏率測試

4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合

 

優勢所在:

1、具有*的ICAL本底穩定功能,提供在10-12毫巴 •升/ 秒范圍內無比*的測量速度和穩定性。

2、可270度旋轉的顯示器,大而清楚的字體可遠距離方便地觀察讀值。可以數顯,模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件,易于使用。

3、高性能渦旋式干泵,抽速:25米3/小時@50Hz。

4、德國普發三級渦輪進氣分子泵,抽速:>70升/秒,采用半磁懸浮軸承,即使90000轉/分鐘的轉速也不會磨損軸承,高氦壓縮比:比其他檢漏儀高2-4倍。

5、兩條鍍釔的銥絲,當一只燈絲斷了以后,能自動切換到另一只。UL1000*的結構設計使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。

6、UL1000采用全逆擴散檢漏方式,即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質譜室的污染。UL1000的質譜室終生免維護。

7、采用毛細管式TL7校準漏孔,不受環境溫度變化影響,因此不需要溫度補償。*的測試罐校準模式不僅校準儀器,也校準檢漏罐,是精準的校準。

英福康公司在北京,上海和廣州設有維修中心及備件倉庫,可以提供24小時服務。工程師全部在德國總部接受過嚴格培訓。國內的各維修中心存有備用氦檢漏儀,可在緊急情況下提供給用戶免費使用。 INFICON有專門維修代理,可提供日常技術支持及維修。

 

技術參數:

小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標準) <5×10-12mbar.l/s
小可檢漏率(吸入模式) <3×10-8mbar.l/s
入口壓強粗檢模式 15mbar
精檢模式 2mbar
超精檢模式 0.4mbar
抽泵抽速 16-25立方米/小時
氦氣抽速(進氣口處)粗檢模式 8升/秒
精檢模式 7升/秒
超精檢模式 2.5升/秒
可檢質量數 2、3、4amu,氫,3氦,氦
電源電壓 110-120V;220-240V
重量 110公斤;242磅
尺寸,包括手把(長×寬×高) 1068×525×850毫米

 

 

 

 



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