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深圳市安川測量儀器有限公司

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HONDA本多石英振動體超聲波清洗機使用與用途

時間:2020/10/12閱讀:1016

HONDA本多石英振動體超聲波清洗機使用與用途

W-357BM-1200 

[超聲波清洗機[用于半導體行業]]

 

特征

  • 通過數字控制可以實現穩定的振蕩。
  • 通過各種接口,可以根據清潔設備進行控制。
  • 超聲波輸出可以1W為增量進行調節。

 用途:

  • 磁頭清潔
  • 硅片清洗
  • 藍寶石晶圓清洗
  • 處理半導體器件后進行清潔
  • 硬盤清潔

 

規范

 

振蕩器

 

模型W-357BM-1200
振蕩方式 單頻振蕩
額定輸出 1200瓦
標稱振蕩頻率 1兆赫
電源輸入AC200V?240V
單相50 / 60Hz的2400VA
顯示VFD(熒光顯像管)16個字符x 2行
國米
的臉
模擬量輸出4-20mA電流輸出
接點輸出3點報警輸出,振動檢測輸出,電源接通輸出
外置驅動器輸入2點傳感器輸入,遠程輸入
RS485通訊MODBUS(RTU)協議
外形尺寸360(W)x 360(D)x 143(H)毫米 
(不包括突起,包括橡膠底腳)
大眾7公斤


●可變輸出范圍:200W至1200W 
●電源線長度:3m

 需要高頻設備許可申請通知

換能器單元

 

根據要求,我們還可以制造規格為2.4 kW和3.6 kW的定制振蕩器單元,以及6英寸,8英寸和12英寸兼容單元。



F型|

8寸晶片用振動板型     

模型W-357BM-1200F
振蕩器型號W-357BM-1200
大允許輸入1200瓦
標稱驅動頻率1兆赫
有效輻射面W x Dmm272x154
外形尺寸
WxDxHmm (不包括
接線和管道)
355x245x68
材料板:SUS316L表面電解拋光
大眾7公斤

●工作液溫度范圍:5到85℃ 
●傳感器:特殊PZT 
●傳感器線長:5m x 2 

S型|

6英寸晶圓的儲罐類型x 2

模型W-357BM-1200S
振蕩器型號 W-357BM-1200
大允許輸入1200瓦
標稱驅動頻率1兆赫
有效輻射面W x Dmm135x160 2個地方
尺寸 
WxDxHmm 
(不包括突起)
外型496x336x372 (包括橡膠腳)
在坦克442x276x252
材料儲罐:SUS316包裝:拜頓
排水閥1/2英寸
大眾18公斤

●工作液溫度范圍:5到85℃ 
●傳感器:特殊PZT 
●傳感器線長:5m x 2

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