 | 天津中環電爐股份有限公司 |
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[供應]石墨烯管式爐
石墨烯生長管式爐由沉積溫控部件、沉積反應室、真空排氣、壓強控制部件和氣源控制部件等部分組成亦可根據用戶需要設計生產。石墨烯生長管式爐除了主要應用在碳系列材料制備行業外。現在石墨烯生長管式爐正在使用在許多行業，包括納米電子學、半導體、光電過程的開發、涂料等領域
實驗機理
石墨烯生長管式爐是利用氣態化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發生化學反應，從而在基體表面上生成不揮發涂層的一種薄膜材料制備系統
| 石墨烯生長管式爐的氣體質子流量控制系統 | ||||
| 氣路數量 | 二路 | 三路 | 四路 | 五路 |
| 流量控制方式 | 自動控制 | |||
| 流量范圍 | 0-500sccd（標準毫升/分）氮氣標定 | |||
| 精 度 | ±1%F.S | |||
| 流量計 | 質子流量計 | |||
| 工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | |||
| 連接方式 | 雙卡套接頭 | |||
| 石墨烯生長管式爐的中真空系統 | ||||
| 使用真空范圍 | 10Pa-100Pa | |||
| 真空度測量范圍 | 0.1Pa-1000Pa（1x10-1Pa-1x103Pa） | |||
| 控制方式 | 自動控制/手動控制（可切換） | |||
| 工作電壓 | AC220V±5% 50Hz | |||
| 真空泵參數 | 真空泵理論極限真空度0.6Pa（6x10-1Pa），抽氣速率 | |||
氣體質子流量控制系統
氣路數量
二路
三路
四路
五路
流量控制方式
自動控制
流量范圍
0-500sccd（標準毫升/分）氮氣標定
精 度
±1%F.S
流量計
質子流量計
工作壓力
進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力）
連接方式
雙卡套接頭
中真空系統
使用真空范圍
10Pa-100Pa
真空度測量范圍
0.1Pa-1000Pa（1x10-1Pa-1x103Pa）
控制方式
自動控制/手動控制（可切換）
工作電壓
AC220V±5% 50Hz
真空泵參數
真空泵理論極限真空度0.6Pa（6x10-1Pa），抽氣速率
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