產品系列

 測量原理

 INFICON 型號

 722 (MKS)、730 (SETRA)

 電容膜片真空計

 =

?Porter CDG020D

 626、AA01,623 (MKS)、CTR 100 (Leybold)

 電容膜片真空計

 =

?SKY CDG025D

 627、E27、727 (MKS)、CTR 101 (Leybold)

 45°C 電容膜片真空計

 =

?SKY CDG045D

 628、E28、728、625 (MKS)

 100°C 電容膜片真空計

 =

?SKY CDG100D

 629 (MKS)

 150/160°C 電容膜片真空計

 =

?SKY CDG160D

 631 (MKS)

 200°C 電容膜片真空計

 =

?SKY CDG200D

 AA06、690A (MKS)

 參考電容膜片真空計

 =

?Cube CDGsci

 727 (MKS)

 45°C 電容膜片真空計

 =

?Edge CDG45D

 728 (MKS)

 100°C 電容膜片真空計

 =

?Edge CDG100D

 DI 2000 (Leybold)

 電容式 DI 傳感器

 =

?DI 200 / DI 2000

 51A、51B (MKS)

 真空開關

 =

?VSA 200

 41B (MKS)

 真空開關

 =

?VSD 200

 PS 115 (Leybold)

 真空開關

 =

?VSC150A

 PS 113A (Leybold)

 真空開關

 =

?VSA100A

大范圍導熱系數 - 以及電離真空計和 控制器

 產品系列

 測量原理

 INFICON 型號                 

 275 Mini-Convectron^®(MKS/ GP) 模擬量或 RS485

 對流增強型皮拉尼真空計

 =

?PGE500 RS485 / 模擬量

 275 Mini-Convectron^®(MKS/ GP) DeviceNet

 對流增強型皮拉尼真空計

 =

 PGE500 DeviceNet

 275 Convectron^®(MKS/ GP) 無源傳感器

 對流增強型皮拉尼真空計

 =

?PGE050

 TTR 91/ TTR 96 (Leybold)

 皮拉尼

 =

?PSG500、PSG502

 925 MicroPirani™ (MKS)
 TTR 91 N/ TTR 96 N (Leybold)

 MEMS皮拉尼真空傳感器

 =

?PSG500、PSG502

 TTR 91 R (Leybold)

 皮拉尼

 =

?PSG500、PSG550

 TTR 911、TTR 916 (Leybold)

 皮拉尼

 =

?PSG550、PSG552

 925 MicroPirani™ (MKS)
 TTR 911 N、TTR 916N (Leybold)

 MEMS皮拉尼真空傳感器

 =

?PSG550、PSG552

 910 DualTrans™ MicroPirani™ (MKS)
 TTR 101 N (Leybold)

 MEMS 皮拉尼真空傳感器 / 壓電膜片傳感器

 =

?PCG55x

 901P MKS MicroPirani™-Piezo (MKS)

 MEMS 皮拉尼真空傳感器 / ATM 壓電膜片傳感器

 =

?PCG55x

 ITR 90 (Leybold)

 熱離子 / 皮拉尼真空計

 =

?BPG400

 ITR 200 (Leybold)

 熱離子 / 皮拉尼真空計

 =

?BPG402

 355 Micro-Ion^®(MKS)

 熱離子測量儀

 =

?BAG302

 392 Micro-Ion^®Plus (MKS)

 熱離子 / 皮拉尼真空計

 =

?BPG400

 392 Micro-Ion^®Plus (MKS)

 熱離子 / 皮拉尼真空計

 =

?BPG402

 390 Micro-Ion^®ATM (MKS)

 熱離子傳感器 / 皮拉尼傳感器 / 壓電膜片傳感器 / ATM 壓電膜片傳感器

 =

 BCG450

 PTR 225 模擬量 (Leybold)

 冷陰極 (彭寧真空計)

 =

?PEG100

 PTR 225 模擬量 (Leybold)

 冷陰極 (彭寧真空計)

 =

 MAG500

 PTR 225 N (Leybold)

 冷陰極 (反轉 磁控管)

 =

 PEG100、MAG500

 PTR 237 模擬量 / DeviceNet (Leybold)

 冷陰極 (彭寧真空計)

 =

?PEG100，PEG100-D

 PTR 90 (Leybold)

 冷陰極 (反轉 磁控管)

 =

?MPG400

 500、903 (MKS)

 冷陰極

 =

?MAG500、MPG500

 971B UniMag™、971B DualMag™(MKS)
 974B QuadroMag™(MKS)
 PTR 90 N (Leybold)

 冷陰極傳感器 / 皮拉尼傳感器
 冷陰極傳感器 / 皮拉尼傳感器 / 壓電膜片傳感器 / ATM 壓電膜片傳感器
 冷陰極傳感器 / 皮拉尼傳感器

 =

?MAG500、MPG500
?MPG500
?MPG500

 Center One、Center Two、Center Three (Leybold)

 主動式真空計控制器

 =

?VGC501、VGC502、VGC503

上市公司：MKS Instruments 公司 (美國馬薩諸塞州安多弗);  Leybold GmbH (德國科隆)
Granville-Phillips®、Mini-Convectron®、Convectron®、Micro-Ion®、MicroPirani™、DualTrans™、UniMag™、DualMag™、QuadroMag™ 是 MKS Instruments 公司 (美國馬薩諸塞州安多弗) 的注冊商標