INFICON公司將于2010年底停止IC5型膜厚控制儀的生產和銷售,但會繼續保證在使用中的IC5的保修、維護及零部件供應。
從2010年8月起,INFICON公司將正式開始IC5的替代升級型號:IC6的市場銷售。
IC6的優勢:
在保留了IC5的所有技術特點之外,增加了如下幾點新功能:
1)TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管;
2)USB數據采集接口取代IC5的軟盤驅動;
3)測量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ;
4)厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃;
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