英福康高壓強熱電離皮拉尼真空計HPG400將高壓強熱電離與皮拉尼真空計綜合，在一個小型, 輕便與經濟的規管中, 測量壓強從 2 x 10-6 毫巴至大氣壓（1.5 x 10-6 乇至 大氣壓）。 HPG400提供高度的重復性和再現性壓強測量, 用于準確濺射過程的壓強控制。

優勢

1.英福康高壓強熱電離皮拉尼真空計節省成本和設備空間, 降低真空測量的安裝與設置的復雜性

2.高壓強熱電離真空計從1×10-5至1毫巴為要求高的過程控制提供準確, 可靠的壓強測量

3.用戶可選的熱電離發射在5×10-2至1毫巴之間起始工作

4.皮拉尼聯鎖保護熱陰極防止它過早燒毀

5.備有可選的圖形顯示器和Fieldbus接口

6.高真空皮拉尼自動調整, 減少操作人員的干預

用途

1.半導體制造中濺射工藝應用, 電子學和傳媒工業

2.工業鍍膜

3.在低至高真空范圍中系統的一般真空測量和控制