PSG500 Pirani標準真空計 ，PSG500-S，PSG502-S可選

PSG500,P/N:350-060a

PSG500-S,P/N:350-080

PSG502-S,P/N:350-140

英富康皮拉尼真空計簡單介紹

INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內的*的Pirani技術。溫度補償保障了快速與穩定的真空測量結果，并消除了對大氣壓強反應慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統, 以及常規用途如前級真空管道中。

英富康皮拉尼真空計特點

■ 占空間小

■ 任何方位安裝

■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件

■ 上佳化的溫度補償

■ 易于集成的對數訊號輸出

■ 至10巴絕對壓力的高過壓能力，用螺紋連接件

■ 烘烤型在法蘭處可達到250°C

■ 易于更換的傳感單元

應用

■ 控制高真空電離真空計

■ 前級真空壓強監測

■ 真空系統中的安全電路

■ 在中真空和粗真空范圍內的一般真空測量與控制