TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過程

性能提高良率并使正常運行時間超大化

持續上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出前所未聞的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內優等的性能，有助于最大限度地提高芯片產量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優點，在幫助您贏利方面的作用優于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的 RGA 具有行業超過的數據采集速度，可檢分壓強和信噪比非常低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

• 最大模擬掃描和選定峰值的數據速率為每點 1.8 ms

• TCP/IP 以太網連接

• 雙絲極

• 可現場更換電子倍增器

• 組合陽極、陰極和反射極絲極套件

• 較短的傳感器可降低安裝占地面積

• 九個數量級的動態量程

• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）

• 信噪比更高

• 可調換傳感器和電子元件

• 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝

• 符合 RoHS 標準

TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀