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BAG552熱電離真空計專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

優勢

1，純粹的 Bayard-Alpert 測量系統，適用于超高壓和高壓測量范圍
2，雙燈絲設計
3，電隔離電子設備，避免雜散電流
4，滑動發射模式，避免在切換發射流時出現壓力跳躍和凍結現象
5，可移動校準數據芯片，延長了烘烤時間
6，設定點繼電器
7，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面
8，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10，符合 RoHS 規范

典型應用

半導體工藝中的壓力測量
工業鍍膜
高真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

測量范圍 ：(氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
準確度 ：1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 讀數
可重復性： 5% 讀數, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (穩定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

BAG552熱電離真空計