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OPG550 光學等離子真空計
INFICON AugentTM光學等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監測解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監測，并同時測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。AugentTM由集成的皮拉尼傳感器保護，可關閉 20 mbar 以上的等離子體?？焖俟鈱W測量原理原則上可以檢測任何類型的氣體。
好處
1，高速泄漏檢測允許腔室泄漏測試
2， 提高生產率和產量
3，使用壽命長，無燈絲**，氣涌保護
4，承受工藝化學反應
5，智能算法，易于集成
6，設計緊湊，占地面積小
7，可靠且快速的啟動
典型應用
1，腔室泄漏檢查，更快的RoR（上升速率）測試
2，泄漏檢查以查找供氣管線的內部泄漏
3，實時終點控制
4，氣體類型和濃度控制
OPG550 光學等離子真空計
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