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產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 可以測(cè)量從10ˉ10Torr到大氣壓的13個(gè)壓力等級(jí)的測(cè)量范圍
● 結(jié)合了微皮拉尼的離子規(guī)復(fù)合真空計(jì)
● 可用于實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)存取的微機(jī)電數(shù)字科技
● RS485通訊和控制
● 有3個(gè)獨(dú)立的設(shè)定點(diǎn)切換
● 較低的功率消耗，24VDC，10W
● 快速的，準(zhǔn)確地，可重復(fù)的壓力測(cè)量減少了工藝的循環(huán)周期
● 任意安裝方向而不影響讀數(shù)精度
● 2個(gè)鍍銥的燈絲，延長(zhǎng)了使用壽命
● 精巧的設(shè)計(jì)很容易對(duì)真空計(jì)進(jìn)行維護(hù)
● 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng) 用：
MKS 979復(fù)合真空計(jì)特別適用于高真空工藝，即從大氣壓到10ˉ10Torr，非常理想地用于PVD和離子注入工藝的較寬的循環(huán)壓力變化。雙傳感器的設(shè)計(jì)和數(shù)字通訊確保了在高真空鍍膜應(yīng)用中需要長(zhǎng)期的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，精巧的設(shè)計(jì)使979成為在半導(dǎo)體和工業(yè)化領(lǐng)域中的系統(tǒng)集成提供了理想的解決方案。