邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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FR-uProbe,簡單地連接到大多數商用光學顯微鏡的C接口適配器,并提供:
o實時光譜測量
o薄膜厚度,光學性能,非均勻性測量
o使用集成的USB連接和高質量彩色相機進行成像
o顯微鏡本身的性能不受影響
工作原理
白光反射光譜(WLRS)測量在一定波長范圍內從薄膜或多層疊堆反射的光量,入射光垂直于(垂直于)樣品表面。
通過來自界面的干涉產生的測量的反射光譜用于確定自支撐和支撐(在透明或部分/全反射基板上)薄膜堆疊的厚度,光學常數(n和k)等。
應用
o大學和研究實驗室
o半導體(氧化物,氮化物,硅,抗蝕劑等)
o MEMS器件(光刻膠,硅膜等)
o LED
o數據存儲
o陽極氧化
o彎曲基板上的硬/軟涂層
o聚合物涂料,粘合劑等
o生物醫(yī)學(聚對二甲苯,氣球壁厚等)
特征
o 單擊分析(無需初始猜測)
o 動態(tài)測量
o 集成USB攝像頭
o 保存視頻進行演示
o 350+不相同的材料
o 3年免費軟件更新
o 在Windows 7/8/10上運行