 |
邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
會(huì)員.png)
11
聯(lián)系電話
|
邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話
勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快 速啟動(dòng)，可保證膠厚度的一 致性和均勻性；
2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)穩(wěn)定，美國國家標(biāo)準(zhǔn) 技 術(shù)研究院（NIST）認(rèn) 證過；
3、采用PLC控制，速度可調(diào)節(jié)，在啟動(dòng)之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開，然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)，步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；
4、數(shù)據(jù)模擬：勻膠實(shí)驗(yàn)時(shí)將一組設(shè)定的涂膠速度和時(shí)長數(shù)值輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)會(huì)據(jù)此計(jì)算出速度設(shè)定方案，帶有速度隨 時(shí)間變化的曲 線；
5、數(shù)據(jù)記錄：為了提 高實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性，設(shè)備會(huì)在數(shù)據(jù)記錄模式下，實(shí)時(shí)記錄下前一 次工藝過程的實(shí)驗(yàn)實(shí)際值，并將該組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并重復(fù)調(diào)用，達(dá)到近乎一 致的可重復(fù)性；
6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震；
一、勻膠機(jī)性能指標(biāo)：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-12,000rpm，
4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<±1 %；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm；
7、工藝時(shí)間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
9、高精 度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10、程序控制：可存儲(chǔ)20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技 術(shù)研究院（NIST）認(rèn) 證過的，并且不用再校準(zhǔn)！]
12、配套真空泵系統(tǒng)：無 油型 220~240伏交流，50/60赫茲；
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14、原裝進(jìn) 口水平測(cè)試儀；
應(yīng)用領(lǐng)域：
鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
有機(jī)太陽電池
OPV有機(jī)光伏
OLED有機(jī)發(fā)光二 極管
OFET & TFT有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管
Graphene &2D石墨烯&二維材料
Substrates襯底
Materials材料
