邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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CNI是用于納米壓印和熱壓印的小型桌面工具。可完成微米和納米結構從母版復制到基板。
CNI工具可以執行熱壓印以及紫外壓印。
CNI工具是納米復制的*起點,同時也支持成熟和高級的開發工作。CNI工具操作簡單,堅固耐用,便于非標準流程和新實驗。
易于安裝 即插即用(不到20分鐘的時間內就可運行工作)
優勢 憑借其熱壓印和紫外壓印的功能,如果需要,在真空中,CNI工具支持許多不同的技術和工藝
使用方便 無需查看使用手冊,每個人都能使用
緊湊尺寸 25*28*16cm(腔室的尺寸)
40*25*9.5cm (多三個控制模塊)
安裝 CNI結構緊湊,無需固定安裝
高質量壓印 能夠將小于40納米的結構復制到大于100微米的結構
多功能 可使用任何尺寸的印章和基板,直徑大200mm或150 * 150mm的基板
技術支持 提供個性化支持,專注于您的加工需求
特征:桌面大小的納米壓印工具
熱壓印溫度高達240°C
紫外納米壓印,365nm曝光
壓印壓力從0.3到11巴
在真空壓印1毫巴
印章和基材尺寸:直徑可達200mm
印章和基材沒有固定的樣式
堅固且易于使用
手動裝卸印章和基板
自動程控
軟件操作界面簡單
可記錄所有步驟和流程
環境
應安裝在干凈、無塵和無顆粒的環境
工作溫度范圍10-35°C;
工作濕度范圍30-70%;
其他
增壓器:如果你的實驗室不能提供高于6 bar的壓縮空氣壓力,NILT可以提供一個增壓器,可以將3-5 bar加到6-10 bar;
真空泵選項:NILT建議使用welch pk2dc油泵或welch mp101 V干空泵。任何其他相似或更好規格的泵也可正常工作;
規格:
壓力:0.3-11巴
溫度:高達200°C,精度+/-1°C,可選高溫模塊,適用于240°C
紫外線曝光 :紫外燈365 nm波長、光學功率55W
真空:可將腔室抽真空至低于1mbar的壓力
腔室尺寸:直徑200mm,高20mm