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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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磨削頭
• Z軸運動，可調節角度
•可調節劃線力從10gr到250gr，恒重
•金剛石工具：可調節角度和旋轉
•刀具偏置，十字準線
•精度：±5μm
晶圓
•晶圓片直徑6''
•真空吸附
•框架/環形適配器
•電動夾頭旋轉
•夾頭旋轉對準，90度/可編程
•X Y軸/分辨率1μm; 精度±5μm
•無振動設計
•通過漸進式操縱桿控制運動
視覺系統
•光學放大倍率，與其他應用兼容
•視野：標準1mm
•TFT顯示器17''和CCD彩色高清攝像機
•目標發生器
•LED照明
參數
•步驟指數
•Y劃線速度從1到100毫米/秒
•劃線長度可編程
•重復劃線
•劃線數量
•多指數功能
•削減計數器
技術規格
功率：100 / 230VAC ，500 watt
氣壓：70psi
真空：60％
尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）
重量：70kgr。
