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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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M6 Spin Coater可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片，使用無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)馬達控制，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀，結(jié)構(gòu)緊湊，專為實驗室，研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價比高的勻膠涂覆設備。M6 Spin Coater在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
產(chǎn)品特點：
• 馬達控制 無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)；
• 智能程控 控制器可拆卸，4.3寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，選中功能有顏色區(qū)分，適用于手套箱；
• 腔體材質(zhì) 易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性；
• 模式切換 可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖；
• 水平調(diào)節(jié) 設備墊腳可調(diào)節(jié)水平；
• 防止堵膠 雙真空腔設計；
• 預留端口 可升級擴展其他多種選配項；
• 密碼功能 設有開機密碼和管理員密碼，管理員有權(quán)限修改核心參數(shù)；
• 安全報警 系統(tǒng)蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統(tǒng)進膠、馬達轉(zhuǎn)速異常均會報警，通過聲音和界面對話框提示；
• 氣流保護 旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消），易維護，易清潔，大幅提高馬達使用壽命；
應用領域：
• 半導體芯片制造
• 鈣鈦礦太陽能電池
• 微流控芯片
• MEMS微納器件
• 高分子材料
• 有機光伏
• 有機發(fā)光二極管
• 有機場效應晶體管&薄膜晶體管
• 石墨烯&二維材料
處理腔體：
• 處理腔體內(nèi)徑不小于8.7英寸 (220毫米)；
• Wafer芯片尺寸小標配為10 mm，可選配到3mm或5mm；大到6英寸（150mm）直徑圓片或5x5英寸（125mm）邊長方片直徑的材料，簡單可靠的載物盤更換設計；
