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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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Pico 等離子設備可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Pico 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。Pico 系統主要應用于以下領域：
分析 (REM, TEM)，考古，汽車，研究和開發部門，半導體技術，小批量生產，塑料技術，醫療技術，微系統技術，傳感技術，滅菌，紡織技術
1.基本裝備：
根據組件/選裝件，外殼規格會有所不同
腔室容積：根據具體版本 4 - 15 升
供電電源：臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位
2.氣體供給：針型閥，質量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室：
圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 150 mm，長 320 mm 或長 600 mm）或
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 160 mm x 160 mm，長 325 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約直徑130 mm，長 300mm或600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約直徑130 mm，長 300 mm或600 mm）
4.裝載件
產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
5.電極：單層或多層，RIE
6.控制系統
半自動型
Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)
7.壓力測量：Pirani，電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）
8.計時器：數字
9.發生器
頻率：
40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W
100 kHz：功率 500 W
80 kHz：功率 1000 W
13.56 MHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
2.45 GHz：功率 0 - 300 W
所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型
10.真空泵
不同規格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）
11.其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項
