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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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勻膠顯影機(英文名：Developing) 型號：EDC-650Mz-23NPP 產地：美國
一、產品概述： 650型勻膠顯影機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面顯影。一般由動力系統、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。
二、工作原理： 顯影系統具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應用的要求重復進行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮氣）等zui后的處理步驟。采用此序貫閥門技術的晶圓片和管道在*干燥的環境中開通和關閉處理過程。隔離和獨立的給水器可處在靜態的位置還可以蓋內調節。還有可選擇的動態線性或徑向滴膠的特性。
三、主要性能指標： 2、Wafer&芯片：直徑6英寸（150毫米）的晶圓片或者5x5英寸（125毫米）的方片； 3、非真空托盤：聚丙烯材質非真空托盤，可承載2、3英寸及150毫米的晶圓片-并帶有背面清洗功能； 3、轉動速度：0-12,000rpm， 5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差 < ±1%； 6、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度； 7、高精度數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%； 8、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態； 9、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！] 10、腔體開關蓋板：透明ECTFE材質圓頂蓋板，便于實時進行可視化操作； 11、腔體材質說明：用聚丙烯材質制成的帶有聯動傳感觸點的合瓣式艙體； 13、配套真空泵系統：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲； |
