邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話(huà)
邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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技術(shù)指標(biāo)如下:
參考指標(biāo) | PTP-300 | PTP-200 |
溫度范圍: | 高至650 | 高至650 |
升溫速率: | 10/sec | 75/sec |
降溫速率: | max50/min(t:600-400) | max200/min(t:600-400) |
max5/min(t:400-100) | max30/min(t:400-100) | |
微波發(fā)生器: | 2.45GHz,600W 用于去層或清潔 | |
加熱區(qū)域: | 300mmx300mm | 170mmx200mm |
控制部分: | 帶LCD顯示的SPS(獨(dú)立電源)控制器PP220(B&R) | |
真空: | 可達(dá) 10E-5 mbar | |
腔材料: | 石英玻璃 | |
腔高度: | 50mm | 40mm |
樣品尺寸: | 用于熱工藝可達(dá)8英寸 | 達(dá)到6英寸 |
用于等離子工藝可達(dá)12英寸 | ||
功率: | 18KW,12根IR燈 | 18KW,18根IR燈 |
氣路: | 2 | |
界面接口: | RS-232 | |
冷卻: | 水冷 |