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為便于國內(nèi)外科研學(xué)者交流納米結(jié)構(gòu)研究成果,共同推動納米加工學(xué)科和新技術(shù)的蓬勃發(fā)展。2017年6月23日, Quantum Design中國子公司與北京航空航天大學(xué)交叉科學(xué)研究院進(jìn)行良好合作,在該院校微納實驗平臺的基礎(chǔ)上舉辦“NanoFrazor 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫技術(shù)研討會”,對國內(nèi)外納米加工技術(shù)展開詳細(xì)介紹與討論,同時就NanoFrazor Explore 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫設(shè)備向國內(nèi)各地課題組開放良好合作機(jī)會。
會議中,Quantum Design中國子公司在Swisslitho廠商及交叉科學(xué)研究院老師們的大力支持下,就微納米加工技術(shù),微納器件制備與性能,MEMS/NEMS,光學(xué)/光子學(xué)等域進(jìn)行了現(xiàn)場學(xué)術(shù)交流,Swisslitho廠商技術(shù)指導(dǎo)在NanoFrazor納米加工平臺上現(xiàn)場演示了高通量光刻、納米疊加等納米加工工藝操作,畢加索名畫及納米線套刻工藝數(shù)秒呈現(xiàn),引起了大家的大興趣。
NanoFrazor Explore 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫技術(shù)是種真正意義上的納米3D圖形加工技術(shù),可以實現(xiàn)多種材質(zhì)的3D微納結(jié)構(gòu)加工,實現(xiàn)XY軸zui高10nm加工線寬和間距,1nm的Z向精度,廣泛應(yīng)用于微納光子學(xué),半導(dǎo)體器件,表面等離子激元,MEMS等研究域,并取得多項突出研究成果。感謝北京航空航天大學(xué)交叉科學(xué)研究院對本次微納研討會成功舉行提供的各項支持,期待這項IBM研發(fā)技術(shù)能夠幫助納米直寫域的院校及老師們?nèi)〉酶油怀龅目蒲谐晒?/p>
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