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常見(jiàn)覆蓋層測(cè)量的典型測(cè)量范圍
常見(jiàn)覆蓋層測(cè)量的典型測(cè)量范圍 | |||
表A.1 常見(jiàn)覆蓋層測(cè)量的測(cè)量范圍 | |||
覆蓋層 | 基體 | 近似厚度范圍 | |
μm | in | ||
鋁 | 銅 | 0~100.0 | 0~0.004 |
鎘 | 鐵 | 0~60.0 | 0~0.0024 |
銅 | 鋁 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
銅 | 鐵 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
銅 | 塑料 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
金 | 陶瓷 | 0~8.0 | 0~0.00032 |
金 | 銅和鎳 | 0~8.0 | 0~0.00032 |
鉛 | 銅和鎳 | 0~15.0 | 0~0.0006 |
鎳 | 鋁 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
鎳 | 陶瓷 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
鎳 | 銅 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
鎳 | 鐵 | 0~30.0 | 0~0.0012 |
鈀 | 鎳 | 0~40.0 | 0~0.0016 |
鈀-鎳合金 | 鎳 | 0~20.0 | 0~0.0008 |
鉑 | 鈦 | 0~7.0 | 0~0.00028 |
銠 | 銅或鎳 | 0~50.0 | 0~0.0020 |
銀 | 銅或鎳 | 0~50.0 | 0~0.002 |
錫 | 鋁 | 0~60.0 | 0~0.0024 |
錫 | 銅或鎳 | 0~60.0 | 0~0.0024 |
錫-鉛合金 | 銅或鎳 | 0~40.0 | 0~0.0016 |
鋅 | 鐵 | 0~40.0 | 0~0.0016 |
注1：在整個(gè)范圍內(nèi)測(cè)量不確定度不是恒定的，而且靠近每個(gè)范圍兩端會(huì)增大。
注2：所給定的范圍是近似的，而且主要取決于可接受的測(cè)量不確定度。
注3：如果同時(shí)測(cè)量表層和中間層，由于熒光X射線光束的各種相互作用，即表層會(huì)吸收中間層的熒光，那么各覆蓋層材料可測(cè)厚度范圍會(huì)發(fā)生變化，例如測(cè)量在銅上的金和鎳時(shí)，若金覆蓋層厚度超過(guò)2.0微米，則無(wú)足夠的熒光保證鎳層高精度測(cè)量。
注4：當(dāng)進(jìn)行厚度大于0微米（如銅或鎳上的金：±0.005微米）覆蓋層厚度測(cè)量過(guò)程中，測(cè)量不確定度。這就必須了解測(cè)量范圍的下線。