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產品簡介
詳細介紹
AALBORG流量計
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上*的氣體質量流量計/控制器的生產廠家，其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領域。
產品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環路保護、備總量計數器
典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝 。
設計特點：
－剛性金屬結構
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統標定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便攜式的設備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機
精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數：0.15％滿量程／℃
壓力系數：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
氣體壓力：大1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar）
流體接觸面材質：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環可選氯丁橡膠圓環。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）