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-135℃水汽捕集泵
├：侯利軍
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產品簡介
詳細介紹
-135℃水汽捕集泵
應用原理:
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8 Torr、10-5 Pa）。
在實際應用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態，無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.
本公司研發生產的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口壓縮機及制冷配件、環保混合型制冷劑生產，替代液氮，節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點，其性能指標在國內處于地位，達到甚至超過*水平。
主要的性能特點
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內制冷到-120℃，zui低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺設備可設計兩路負載輸出；
5、進口壓縮機，環保混合型制冷劑;
6、完善的自動化控制；
7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫 度顯示；
8、當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報警；
12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護；
13、電源斷電、缺相報警；
14、可本地、遠程控制自由轉換；
15、R232計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
| 型號 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
| 壓縮機功率（KW） | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
| 工作溫度（℃） | -120℃至-150℃ | |||||
| 抽氣速度（l/s） | 30600 | 51000 | 73,000 | 101,000 | 153,000 | 250,000 |
| 制冷量（W） | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
| 冷凝管表面積（m2） | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
| 冷凝管長度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
| 預冷時間（min） | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
| 降溫時間（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
| 除霜時間（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 再降溫時間（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
| 適用油擴散泵徑（mm） | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 雙路輸出 | 雙路輸出 |
| 冷卻方式 | 風冷、水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | |
| 適用腔體直徑（mm） | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 | |
冷凝盤管的制作
根據設備的實際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。
輸入、輸出的接口
冷凝盤管從真空腔內穿過腔壁時，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會有較大損失，腔壁結霜嚴重。這就需要一個長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決，它可以做成活口（見圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。
