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SMC溫調器,日本SMC溫調器
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更新時間:2024-09-19 08:30:09

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厚度均勻性,清除生成物,保持介質(顯像液、抗腐
蝕液及洗凈液等)粘性的穩定性

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為了提高硅圓片和液晶基板等上形成薄膜時的
厚度均勻性,清除生成物,保持介質(顯像液、抗腐
蝕液及洗凈液等)粘性的穩定性,都需要進行溫度控
制。SMC公司可提供多種不同要求的溫調器,進行
溫度控制。

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