93-1360
鋁 *基鋁，分鐘。 98％鋁，分鐘。98％
CAS號碼： | 75-24-1 |
MDL號碼： | MFCD00008252 |
分子式： | C 3 H 9 Al |
配方重量： | 72.09 |
化學式： | （CH 3）3 Al |
顏色和形式： | 無色液體。 |
注意： | 可在ALD氣瓶中預先包裝 - 見98-4003,98-4004。 |
穩定性：對濕度敏感
安全：危險 - 可能需要額外的危險品運費，自燃
物理特性：熔點15.4°C，沸點20°C / 8 mm，閃點1.4°F，密度0.752（20°C）
目錄編號 | 描述 | CAS號碼 |
98-8000 | 水，99.999％（PURATREM），98-0295，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中 | 7732-18-5 |
98-4009 | 用于CVD / ALD的50 mlSwagelok®氣瓶（96-1070）中含有雙（乙基環戊二烯基）釕（II），98％（99.9％-Ru），44-0040 | 32992-96-4 |
98-4010 | 雙（乙基環戊二烯基）鎂，分鐘。用于CVD / ALD的高溫50mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中含有98％，12-0510 | 114460-02-5 |
98-4006 | 雙（乙基環戊二烯基）鎂，分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有98％，12-0510 | 114460-02-5 |
98-4005 | 二乙基鋅，分鐘。用于CVD / ALD的高溫50mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中含有95％，93-3030 | 557-20-0 |
98-4000 | 二乙基鋅，分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有95％，93-3030 | 557-20-0 |
98-4001 | 二甲基鋅，99％，97-5061，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中 | 544-97-8 |
98-4002 | 二甲基鋅，電解質 克。（99.999％-Zn）PURATREM，97-5060，含50 ml電解拋光的Swagelok®氣瓶（96-1077），用于CVD / ALD | 544-97-8 |
98-4042 | 四（二甲氨基）鋯（IV），99％（99.99％-Zr）TDMAZ，40-4115，包含在50ml用于CVD / ALD的Swagelok®圓筒（96-1070）中 | 19756-04-8 |
98-4012 | 用于CVD / ALD的50毫升Swagelok®氣瓶（96-1070）中含有四（二甲氨基）鋯，99％TDMAZ，40-4100 | 19756-04-8 |
98-4015 | 四（二甲氨基）鈦（IV），99％TDMAT，93-2240，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中 | 3275-24-9 |
98-4016 | 四（二甲氨基）鈦（IV），99％TDMAT，93-2240，含在高溫50 mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中，用于CVD / ALD | 3275-24-9 |
98-4018 | 三[N，N-雙（*基甲硅烷基）酰胺]釔（III），min。用于CVD / ALD的50 mlSwagelok®氣瓶（96-1070）中含有98％（99.9％-Y）（REO），39-1500 | 41836-28-6 |
98-4021 | 四（二甲氨基）鉿，98 +％（99.99 +％ - Hf，<0.2％-Zr）TDMAH，PURATREM，72-8000，包含在用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中 | 19782-68-4 |
98-4022 | 四（二甲氨基）鉿，98 +％（99.99 +％ - Hf，<0.2％-Zr）TDMAH，PURATREM，72-8000，包含在50ml用于CVD / ALD的Swagelok®圓筒（96-1071）中 | 19782-68-4 |
98-4024 | （*基）甲基環戊二烯基鉑（IV），99％，78-1350，包含在用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中 | 94442-22-5 |
98-4026 | （*基）甲基環戊二烯基鉑（IV），99％，78-1350，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶高溫閥（96-1071）中 | 94442-22-5 |
98-4027 | 氯化硅（IV），光纖級（99.9999％-Si，50ppm-Fe）PURATREM，98-0147，包含在50 ml電解拋光的Swagelok®氣缸（96-1077）中，用于CVD / ALD | 10026-04-7 |
98-4030 | 異丙醇鈦（IV），分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有98％，93-2216 | 546-68-9 |
98-4033 | 氯化鈦（IV），99％，22-1150，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中 | 7550-45-0 |
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