用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，美國ALICAT氣體質量流量計MC-200SCCM-DD。

美國ALICAT氣體質量流量計MC-200SCCM-DD

美國ALICAT氣體質量流量控制器M-20LPM-O-NL/5M必須快速準確，以建立穩定的流量。我們的質量流量控制器比其他任何一個都能更快地達到設定點，這使得它們能夠在線路壓力波動影響下游過程之前抑制它們的波動。定制的閥門選項和工廠PID調節確保您的MFC在您的特定應用中表現良好。

用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
該MC 系列是我們的標準質量流量控制器，具有能夠測量流速高達5000標準升每分鐘或低至0.0025 SCCM模型。 當管路壓力較高（145-305 psig）時選擇  MCQ。在  MCW  系列是適合低壓降的應用，泄漏測試和用于降低在50 scccm或更低的流速氣動響應時間。如果您需要直接替換現有的熱質量流量控制器，MCE 系列將閥門折入內部以使其過程連接符合SEMI標準長度。對于真空應用，MCV 在MCE外形上增加了一個氣動截止閥。BASIS 是Alicat的緊湊型質量流量控制器系列，專為OEM應用和大批量訂單而設計。

流量計一般分為以下幾種類型：
1. 容積式流量計，又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分，根據測量室逐次重復的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體積流量。
2. 浮子式流量計，又稱轉子流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3. 差壓式流量計 ，是根據安裝于管道中流量檢測件產生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。
4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發生體，流體在發生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。
5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它采用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。
6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。
7. 電磁流量計，電磁流量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。電磁流量計有一系列優良特性,可以解決其它流量計不易應用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。
8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。美國ALICAT氣體質量流量計MC-200SCCM-DD

基于壓力的質量流量儀表，具有蕞佳性能。
大多數流量儀表的讀數精度為0.6％
響應時間為4毫秒
沒熱身
四個過程變量
內置顯示屏
工業協議
壓力補償
溫度補償
寬動態流量范圍

 

應用：
用于pH控制的氣體噴射（MC）
通過快速調整控制寬流量范圍內的質量流量，以適應??不斷變化的流量要求。
甚至更快的泄漏測試（MCW）
設置為控制壓力的“耳語”質量流量控制器在一個裝置中起到壓力控制器和質量流量計的作用。
用于反應濺射的氣體流量控制（MCV）
精確控制真空室內活性氣體的分壓，并在氣流閥的無流量條件下保持緊密關閉。
OEM氣體分析儀的流量控制（BASIS）
小尺寸，即時控制準備和雙重通信使BASIS易于構建到終用戶產品中。