進(jìn)口美國MKS真空計(jì)*，392系列微離子Plus結(jié)合了Granville-Phillips®行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和經(jīng)過應(yīng)用測試的微離子電離傳感器，帶有創(chuàng)新的微型皮拉尼導(dǎo)體安裝在緊湊型電子設(shè)備上的單個(gè)儀表總成外殼中的傳感器控制模塊。這種緊湊的模塊化設(shè)計(jì)減少了單獨(dú)儀表的數(shù)量，全系列通常需要的真空接口，電纜和控制電子設(shè)備壓力測量。

進(jìn)口美國MKS真空計(jì)*

392系列是第二代全量程壓力測量模塊結(jié)合了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電離規(guī)技術(shù)和微型熱損失傳感器可提供準(zhǔn)確，連續(xù)的壓力從高真空到大氣的測量。

全量程壓力測量作為單個(gè)模擬輸出信號或通過可選的串行RS-485或DeviceNet™數(shù)字接口提供。取決于提供了三個(gè)可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器，可以將它們配置為用于過程控制在整個(gè)真空范圍內(nèi)的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲器包含工廠校準(zhǔn)信息。電存儲器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級的校準(zhǔn)精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務(wù)團(tuán)隊(duì)可以快速了解您的應(yīng)用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過在量規(guī)范圍內(nèi)進(jìn)行更好的熱管理。

后，392系列和390系列微離子ATM現(xiàn)在共享一個(gè)通用平臺以提高產(chǎn)品質(zhì)量通過大批量制造。
在寬廣的真空范圍內(nèi)進(jìn)行精確測量通常需要多個(gè)儀表組件，另外真空端口，相關(guān)的電氣接口和控制系統(tǒng)。 Micro-Ion Plus全范圍真空模塊將多個(gè)傳感器組合到單個(gè)規(guī)格的管中連接到高級控制電子模塊創(chuàng)建緊湊的模塊化量規(guī)設(shè)計(jì)接口要求，并降低總體成本所有權(quán)，同時(shí)增強(qiáng)真空測量性能。下一代Micro-Ion Plus結(jié)合了通過30年的真空計(jì)獲得的知識設(shè)計(jì)和現(xiàn)場安裝，以及我們廣泛的與原始設(shè)備制造商（OEM）合作終用戶客戶。 高性能，全系列緊湊的單個(gè)真空端口中的真空測量擁有成本低的設(shè)計(jì)，請選擇系列392 Micro-Ion Plus或從我們的所有MKS系列中進(jìn)行選擇壓力測量解決方案。

進(jìn)口美國MKS真空計(jì)*

特點(diǎn)與優(yōu)勢：
•連續(xù)壓力測量高真空
•緊湊的多傳感器量規(guī)設(shè)計(jì)
•消除了兩個(gè)獨(dú)立的需求量規(guī)
•雙電離規(guī)燈絲增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間
•電離規(guī)激活自動(dòng)化和停用
•可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面
•RS-485和DeviceNet具有可選用于過程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器
•可選的法蘭配置
•現(xiàn)場可更換量規(guī)，低擁有成本
•電子量規(guī)管存儲器可確保放置的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性量規(guī)
•改進(jìn)的微型皮拉尼導(dǎo)體準(zhǔn)確性
•利用第二代產(chǎn)品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規(guī)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)
•由MKS服務(wù)支持計(jì)劃支持

 

模擬輸出
對數(shù)壓力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍
RS-485串行接口
數(shù)字通信接口2線半雙工
通信格式ASCII：無奇偶校驗(yàn)，一個(gè)停止位
波特率1200、2400、4800、9600、19200（默認(rèn)），38400
地址0-63，使用地址開關(guān)和RS-485命令選擇
DeviceNet接口
消息輪詢的I / O和顯式
數(shù)據(jù)速率125、250或500 kbaud，可選開關(guān)
地址0-63，使用低和高地址開關(guān)選擇
工作溫度10°至40°C（50°至104°F），無冷凝
儲存溫度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）
烘烤溫度蕞高105°C（221°F），已拆下電子設(shè)備
電離規(guī)發(fā)射電流自動(dòng)調(diào)整范圍
自動(dòng)離子規(guī)控制設(shè)置（默認(rèn)）
2x10 -2 Torr的電離規(guī)； 2.66x10 -2毫巴;壓力降低時(shí)為2.66 Pa
電離規(guī)關(guān)閉3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;壓力增加時(shí)為3.99 Pa
切換到高發(fā)射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，壓力降低
切換至低輻射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，壓力升高
電離計(jì)脫氣電子轟擊； 3瓦1分鐘/單絲
電離規(guī)長絲鎢或釔包覆的銥
燈絲操作請參見注釋（7）交替（默認(rèn)為氧化釔），自動(dòng)，手動(dòng)（默認(rèn)為鎢絲）
熱損失傳感器線鍍金鎢
規(guī)格體積10.8厘米3（0.65英寸3）
LED指示燈模塊狀態(tài)
I / O連接器
RS-485 /模擬15針D-sub公頭
DeviceNet 5針微型連接器
大浪涌電流
RS-485 / Analog 2 A，48W，持續(xù)0.5秒
所需功率
RS-485 /模擬24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;
DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V時(shí)1.5A），30W峰值時(shí)3.0A
可選的顯示圖形LCD
可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器RS-485或DeviceNet：2個(gè)SPDT（NO / NC）或3個(gè)SPST（NO），每個(gè)都可以獨(dú)立設(shè)置
繼電器觸點(diǎn)額定值
30 VDC時(shí)大1 A，電阻負(fù)載
5 VDC時(shí)小5 mA，電阻負(fù)載
重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接頭）
表殼材料鋁擠壓粉末涂層
真空304不銹鋼，鉭，鎢，氧化釔涂覆的銥，氧化鋁，CuAg共晶，
Kovar®，鍍金或鎳的Kovar硼硅酸鹽玻璃
符合性CE