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空氣過濾器的迅速發展是與軍事工業和電子工業的發展緊密相關的。在*次世界大戰期間,由于各種化學毒劑的使用,以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應運而生。玻璃纖維過濾介質用于空氣過濾于1940年10月在美國取得。50年代,美國對玻璃纖維過濾紙的生產工藝進行了深入的研究,使空氣過濾器得到了改善和發展。60年代,HEPA過濾器問世;70年代,采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質的HEPA過濾器,對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來,隨著新的測試方法過濾器結構示意圖
的出現、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高,發現HEPA過濾器存在著嚴重的問題,于是又產生了性能更高的ULPA過濾
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