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原子熒光光譜儀的結構組成主要包括激發光源、光學系統、原子化系統、氣路系統以及檢測系統五個部分。
 

一、激發光源

光源是原子熒光光譜儀的重要組成部分，它的性能指標直接影響分析的檢出限、精密度以及穩定性等性能。對于激發光源的基本要求有以下幾點：

1、要有足夠的輻射強度，在一定的范圍內，熒光分析的檢出限與激發光源的強度成正比；

2、發射線應是同種元素的共振線，并且發射線帶寬小于或等于吸收線帶寬，甚至采用連續光源也可以；

3、光譜純度高，背景低，在儀器光譜通帶內無其它的干擾譜線；

4、輻射能量穩定性好，這是提高測量精密度與穩定性及改善檢出限的要求；

5、使用壽命長，操作和維護方便。

光源的種類：

1、空心陰極燈（包括高強度燈和可拆卸燈）

2、無極放電燈

3、金屬蒸汽放電燈

4、汞放電燈

5、微波誘導子焰

6、電感偶合等離子焰

7、可控溫梯燈

8、佩燈

9、可調諧染料激光

10、二極管激光

二、光學系統

原子熒光光譜儀的光學系統分為色散型和無色散型。

色散型--由激發光源、原子化器、單色器及接收放大器組成

無色散型--由激發光源、原子化器、濾光片及日盲光電倍增管組成

三、原子化系統

供給能量將樣品中被測元素轉變為基態原子的過程叫原子化。原子化系統就是將被測樣品原子化并將原子蒸氣送入光路系統的部件。要激發原子熒光，必須將結合態原子變成自由原子導入激發光束中。溶液中的被測元素原子是通過化學鍵與其他原子鍵結合在一起的，所以必須提供能量使其原子化。原子化系統一般由霧化器、多功能反應模塊、蠕動泵、預混合霧室和燃燒器組成。原子化系統一般分為：

1、火焰原子化系統

2、無火焰原子化系統（氫化物發生法）

四、氣路系統

儀器所需的工作氣體(壓縮空氣、燃氣、氬氣)均由流量器來控制流量,在火焰法與氫化物發生法相互切換時，只需將氬氣換為壓縮空氣，然后打開燃氣即可。主氣與金屬套玻璃高效噴霧器(火焰法)和特制多功能反應模塊(氫化物發生法)接口之間是自動切換。在火焰法中，燃氣與經霧化樣品混合均勻后燃燒，壓縮空氣作為主氣將樣品霧化，作為輔氣輔助燃氣燃燒；在氫化物發生法中，氬氣作為載氣和屏蔽氣。
 

五、檢測系統

AFS分析是通過光電檢測器把原子熒光信號轉換成電信號，再經過放大、調解等檢測電路后，用記錄器或峰值保持電壓表來記錄熒光強度。

AFS分析采用的檢測器件有光電倍增管、光電管、光敏二極管、光敏電阻。其中較常用的是光電倍增管。