X射線熒光光譜儀是一種利用X射線照射物質后產生熒光現象的儀器，可以用于元素分析和表面化學分析。其工作原理如下：X射線照射待檢樣品表面，激發原子內部電子躍遷，產生特定波長的熒光輻射，熒光輻射被探測器檢測并轉化成電信號，再經過信號處理裝置分析、處理和記錄，通過熒光輝譜儀分析熒光發射的波長和強度，可以確定樣品中的元素種類和含量。X射線熒光光譜儀具有高靈敏度、高準確度和非破壞性的特點，廣泛應用于材料科學、地質學、金屬分析等領域。
X熒光光譜儀(XRF)由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管產生入射X射線(一次X射線)，激發被測樣品，產生X熒光(二次X射線)，探測器對X熒光進行檢測。
XRF用X光或其他激發源照射待分析樣品，樣品中的元素之內層電子被擊出后，造成核外電子的躍遷，在被激發的電子返回基態的時候，會放射出特征X光；不同的元素會放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波長特性。檢測器(Detector)接受這些X光，儀器軟件系統將其轉為對應的信號。這一現象廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在研究金屬，玻璃，陶瓷和建筑材料，以及在地球化學研究、法醫學、電子產品進料品管(EURoHS)和考古學等領域，在某種程度上與原子吸收光譜儀互補，減少工廠附設的品管實驗室之分析人力投入。
X射線熒光光譜儀的產品特點：
作界面簡單，測量方便，快捷
無損檢測，在無標準樣品時亦可準確分析
采用139±5eV的高精度分辨率，保證數據測量的精度
能夠檢測鹵族元素的準確含量
同置高清晰攝像頭，可幫助客戶判斷測量的部位
電制冷型的X光管配合光管保養程序，散熱更好，并能有效的延長X光管的壽命
外觀高貴大方，加大儀器內部空間，儀器內部通風性優，并有效屏蔽電磁干擾
采用雙峰位快速自動校準。
自動譜線識別、多元素同時定性定量分析、讓用戶方便認識分析樣品的組成的定量分析算法，包含FP法、檢量線法、經驗系數法、理論系數法、神經網絡算法等，客戶可根據自已的要求進行二次開發，自行開發任意多個分析方法，設置了自動安全防護開關，以確保用戶安全使用。
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