光刻膠-2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯

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光刻膠-2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。可用于深硅刻蝕，適合于深寬比工藝，透明度，垂直度好。

中文名稱：2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯

英文名稱：2-Methyl-2-adamantyl acrylate

別稱：丙烯酸2-甲基金剛烷-2-基酯

CAS號：249562-06-9

分子量：220.307

密度：1.1±0.1 g/cm3

沸點：284.4±9.0 °C at 760 mmHg

分子式：C14H20O2

熔點：N/A

MSDS：N/A

閃點：114.6±16.1 °C

紫外負性光刻膠

紫外正性光刻膠

聚酰亞胺光刻膠

共價鍵合單分子樹脂光刻膠

單分子分子玻璃光刻膠

微米尺度光刻膠

锍鎓鹽鍵合的分子玻璃單分子光刻膠

電子束光刻膠

共價鍵合單分子HPS-MSF樹脂光刻膠

輻射線光刻膠

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