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天津克萊瑞科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 差壓/壓力表,流量計(jì),傳感器,控制器,變送器,二次智能儀表,報(bào)警儀,記錄儀,實(shí)驗(yàn)儀器 |
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- 所在地 天津市
更新時(shí)間：2024-05-14 20:55:17瀏覽次數(shù)：369
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4.低壓化學(xué)蒸氣沉積（LPCVD）
5.硅晶生長(zhǎng)
6.泄露檢測(cè)
特點(diǎn)：
1．最大抽速保持到133 Pa. 2．由于泵腔內(nèi)金屬間無(wú)接觸，使用壽命長(zhǎng).3．耐磨性好，抗腐蝕性強(qiáng).4．泵腔內(nèi)氣道暢通，無(wú)小孔阻尼現(xiàn)象.5．氣鎮(zhèn)可調(diào)，可抽除可凝性氣體.6．極限壓力可達(dá)1.33 Pa.7．此泵有一根軸、二個(gè)偏心輪和二個(gè)成180度放置并平行運(yùn)行的滑閥.
凱尼 KLRC雙級(jí)液環(huán)真空泵 是抽吸潮濕混合氣體以及抽吸含微小液滴氣體的理想設(shè)備。整套工程系統(tǒng)解決方案包括儀表、控制裝置、管路和閥門(mén)、自循環(huán)系統(tǒng)、工作液再循環(huán)系統(tǒng)供選擇。
產(chǎn)品特點(diǎn)： 抽吸壓力可以低至 4Torr(5.3mbar)。然而，低壓力下的工作性能會(huì)受工作液的飽和蒸汽壓限制，工作液可以是水、油或流程液體。該泵有標(biāo)準(zhǔn)材料配置、全部鑄鐵材料或 316SS不銹鋼材料選項(xiàng)，通常是水冷系統(tǒng)，風(fēng)冷系統(tǒng)供選擇。
