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安徽貝意克設備技術有限公司>>CVD系統>> BTF-1200C-II-R-CVD連續進出料回轉CVD生長設備

連續進出料回轉CVD生長設備

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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 BTF-1200C-II-R-CVD
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
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更新時間:2021-09-27 23:32:02瀏覽次數:1566

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產品簡介

產地類別 進口 應用領域 電子,綜合
連續進出料回轉CVD生長設備爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-35°之間。

詳細介紹

1、連續進出料回轉CVD生長設備主要特點

  該設備爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-35°之間。

  2、設備組成:加熱系統,進料系統,出料系統,氣體控制系統,低真空系統,爐管轉動系統,電控操作系統。

  (1)加熱系統:

  該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

  高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

最高溫度

1200度

使用溫度

1100度

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

爐管旋轉速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,

操作界面為10"液晶觸摸屏控制

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm

加熱元件

電阻絲

       (2)連續進出料回轉CVD生長設備進料系統:

  送料系統速度連續可調,停止送料且爐體傾斜最大時,物料不會從送料系統外漏,送料系統方便拆卸,拆卸后可手動加料,設備可正常運行。

  (3)出料系統:

  出料系統在爐體傾斜出料時可自動出料。

  (4)氣體控制系統:

  該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的,也可以獨立控制,質量流量計安裝于密封的可移動的機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可選

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

       (5)低真空系統:

  該系統配備真空機械泵,可以抽真空,可以讓設備在真空環境下進行反應。

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連  

       (6)爐管轉動系統:

  爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。

 

  3.技術指標:

  (1)該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

  (2)整個爐子和送料、收料系統能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調;

  (3)送料系統送料速度連續可調,停止送料且爐體最大傾斜時,物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸,拆卸之后可以手動加料,設備可正常運行。

  (4)爐管回轉穩定,不會上下左右跳動;轉速在0~60r/min連續可調,能在60r/min轉速下連續長期運轉(>24h)。


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