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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>PECVD系統(tǒng)>>智能型>> PECVD-500A等離子輝光滑軌式智能型PECVD

等離子輝光滑軌式智能型PECVD

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) PECVD-500A
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
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更新時(shí)間:2024-08-01 14:21:03瀏覽次數(shù):1814

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儀器種類(lèi) 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子
等離子輝光滑軌式智能型PECVD-500A,本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)石墨烯生長(zhǎng)和制備使用,同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無(wú)須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。              

1、加熱系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ50/φ100mm(爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7/10寸工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

加熱長(zhǎng)度

230mm/440mm

恒溫長(zhǎng)度

100mm/200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~150/500W

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷


3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

4、低真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連




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