產品簡介
詳細介紹
? 高精度工作臺
? - 花崗巖底座
? - 光柵尺分辨率:0.05um
? - 高分辨率CCD 相機
? - 固定倍率(0.5X、1X、2X、4X)或手動變焦鏡頭(0.7-4.5X 分五個固定倍率)
? - 透射光(綠色)和表面環形光均為LED 光源
? - 測量范圍X/Y/Z:200x100x150mm
? - 精度XY(E2)=3.0um+L/60(L為mm)
? - 精度Z(E1)=5.9um+L/60(L 為mm)
? - 工作臺承重:10Kg
? - TESA Vista 或Pcdmis 軟件