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產品簡介
光刻膠 高精度計量泵 涂膠顯影機 高壓計量泵 1000厘泊（cP） 光刻膠泵 光刻膠涂布專用泵 高壓柱塞泵 全自動勻膠顯影機 不間斷無脈動連續供膠 高壓輸液泵 光刻膠輸送 供膠泵
詳細介紹
三為科學光刻膠高壓計量泵是采用凸輪傳動的高壓柱塞泵，輸液液體粘度可以達到1000厘泊（cP），高精度無脈沖連續供膠，可以用于涂膠顯影機中輸送光刻膠，sanotac光刻膠高壓計量泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，Modbus協議，232/485，PLC模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA；流量精度高、壓力脈沖低，重復性好，質量優異。
技術特點：
1， 壓力保護設定：可設置壓力上限和壓力下限；
2， 壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補償和流量脈沖電子抑制技術；
3， 流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質量輸送g/min；
4， 流量校準：提供用戶參數區用于校準泵的流速，滿足不同系統工況需求；
5， 流量控制程序： 提供兩種運行程序，恒流運行和梯度運行；
6， 壓力曲線顯示：各設備分別顯示當前壓力曲線，直觀判斷設備運行狀況；
7， 流量曲線顯示：各設備分別顯示當前運行的流量曲線；
8， 支持RS-232，RS-485，RS-422；Modbus RTU和 ASCII協議；
9， 一對多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴展1對32操作；
10， 運行數據保存：開啟或停止數據記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。
11， 設置方法保存：保存運行參數設置，如串口端口參數，壓力保護值，流量控制程序等。
12， 可以實現流體入口天平減重系統的閉環控制（根據客戶天平規格定制）。
高粘度高壓柱塞泵產品參數：
| 序號 | 產品型號 | VP-0110 | VP-0510 | VP-1010 |
| 1 | 泵頭材質 | 不銹鋼泵頭 | ||
| 2 | 輸液方式 | 雙柱塞并聯模式，浮動柱塞設計 | ||
| 3 | 流量范圍 | 0.01-10.00/min | 0.01-50.00/min | 0.01-100.00/min |
| 4 | 輸送粘度范圍 | 0-1000cP | 0-100cP | 0-100cP |
| 5 | 增量 | 0.01ml/min | ||
| 6 | 流量準確度 | ± 0.5% | ||
| 7 | 流量重復性 | ≤ 0.1% | ||
| 8 | 壓力范圍 | ≤ 10Mpa | ||
| 9 | 壓力脈動 | ≤ 0.05Mpa | ||
| 10 | 流路材料 | 316L不銹鋼、PTFE、紅寶石、陶瓷 | ||
| 11 | 流量校正功能 | 用戶端 0.01--100.00ml范圍內多參數流量校正功能 | ||
| 12 | 通信功能 | RS232，RS485/422(選配)； Modbus RTU和 ASCII協議 | ||
| 13 | 上位機軟件 | SanoFlu流體控制管理系統 | ||
| 14 | 電源 | 220±10%VAC,50Hz | ||
| 15 | 尺寸 | 360×260×160 mm3 | ||