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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
電子化學(xué)品,半導(dǎo)體化學(xué)材料,高壓計(jì)量泵,風(fēng)囊泵,芯片用電子化學(xué)品,半導(dǎo)體化學(xué)品,高壓輸液泵,ic化學(xué)品,氟材料高壓計(jì)量泵,光刻化學(xué)品 蝕刻化學(xué)品 氫氟酸、鹽酸 光阻膠 光刻膠輸送 濕化學(xué)品輸送 半導(dǎo)體專(zhuān)用泵
詳細(xì)介紹
SF1005D氟材料高壓計(jì)量泵流路做了無(wú)金屬優(yōu)化，接觸液體的材料為FFKM、PTFE和特種陶瓷，流量范圍0.01—100.00ml/min，耐壓達(dá)到5Mp，揚(yáng)程高傳輸距離長(zhǎng)，是三為科學(xué)針對(duì)電子化學(xué)品領(lǐng)域開(kāi)發(fā)的一款耐腐蝕有高壓輸送需求的四氟泵。SF1005D高壓氟泵還具有：在線(xiàn)流量和壓力變化曲線(xiàn)、客戶(hù)端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，通訊方面有：Modbus 、Profibus和Profinet協(xié)議，PLC，模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA，485/232/usb/網(wǎng)口等選擇；流量精度高、壓力脈沖低，重復(fù)性好，質(zhì)量?jī)?yōu)異，廣泛應(yīng)用于電子化學(xué)品輸送領(lǐng)域和化工反應(yīng)器配套領(lǐng)域。
技術(shù)特點(diǎn)：
1， 壓力保護(hù)設(shè)定：可設(shè)置最壓力上限和下限；
2， 壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線(xiàn)補(bǔ)償和流量脈沖電子抑制技術(shù)；
3， 流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質(zhì)量輸送g/min；
4， 流量校準(zhǔn)：提供用戶(hù)參數(shù)區(qū)用于校準(zhǔn)泵的流速，滿(mǎn)足不同系統(tǒng)工況需求；
5， 流量控制程序： 提供兩種運(yùn)行程序，恒流運(yùn)行和梯度運(yùn)行；
6， 壓力曲線(xiàn)顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前壓力曲線(xiàn)，直觀判斷設(shè)備運(yùn)行狀況；
7， 流量曲線(xiàn)顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前運(yùn)行的流量曲線(xiàn)；
8， 柱塞桿清洗系統(tǒng)，延長(zhǎng)泵的使用壽命;
9， 支持RS-232，RS-485，RS-422，USB通訊；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議；
10， 一對(duì)多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴(kuò)展1對(duì)32操作；
11， 運(yùn)行數(shù)據(jù)保存：開(kāi)啟或停止數(shù)據(jù)記錄，將壓力曲線(xiàn)和流量曲線(xiàn)保存至Excel格式文件中。
12， 設(shè)置方法保存：保存運(yùn)行參數(shù)設(shè)置，如串口端口參數(shù)，壓力保護(hù)值，流量控制程序等。
13， 可以實(shí)現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶(hù)天平規(guī)格定制）。
SF1005D高壓氟泵參數(shù)：
| 序號(hào) | 產(chǎn)品型號(hào) | SF1005D |
| 1 | 泵頭材質(zhì) | 不銹鋼內(nèi)嵌PCTFE泵頭，螺紋加工在不銹鋼上 |
| 2 | 輸液方式 | 雙柱塞并聯(lián)模式，浮動(dòng)柱塞設(shè)計(jì) |
| 3 | 流量范圍 | 0.01-100.00/min |
| 4 | 增量 | 0.01ml/min |
| 5 | 流量準(zhǔn)確度 | ± 0.5% |
| 6 | 流量重復(fù)性 | ≤ 0.1% |
| 7 | 壓力范圍 | ≤ 5Mpa |
| 8 | 壓力脈動(dòng) | ≤ 0.05Mpa |
| 9 | 流路材料 | FFKM、PTFE、特種陶瓷 |
| 10 | 出口管路 | φ3mm、φ3.175、φ4mm |
| 11 | 流量校正點(diǎn) | 0.01、0.1、1、10、20、40、60、80、100ml/min |
| 12 | 流量校正功能 | 用戶(hù)端 0.01--100.00ml范圍內(nèi)多參數(shù)流量校正功能 |
| 13 | 通信功能 | RS232，USB(標(biāo)配）；RS485/422(選配)； Modbus 協(xié)議 |
| 14 | 上位機(jī)軟件 | SanoFlu流體控制管理系統(tǒng) |
| 15 | 電源 | 85 ～ 264VAC,50Hz |
| 16 | 尺寸 | 370×240×152 mm3 |