熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的，該儀表采用恒溫 差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方 便，測量準確等優點。
傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一 個傳感器不間斷地測量介質溫度 T1；另一個傳感器自加熱到高于介質溫 度 T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1， 當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將 T2 的熱量帶走，使 T2 的溫度下降，若要使ΔT 保持不變，就要提高 T2 的供電電流，氣體流動 速度越快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函 數關系，這就是恒溫差原理。