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XslicerSMX-6000微焦點(diǎn)X射線檢查系統(tǒng)是島津公司采用自制的微焦點(diǎn)X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。

將X射線和CT結(jié)合

XslicerSMX-6000是島津公司采用自制的微焦點(diǎn)X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。

順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起，全新的CT處理引擎能夠進(jìn)行全自動(dòng)校準(zhǔn)、高速拍攝以及重構(gòu)。

高放大倍數(shù)、高分辨率的圖像不會(huì)變形，從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內(nèi)部的細(xì)微構(gòu)造和缺陷。

Easy operation

采用全新UI（用戶(hù)界面）可以實(shí)現(xiàn)直觀的簡(jiǎn)單操作。關(guān)閉拉門(mén)后即可開(kāi)始檢查。即使對(duì)于初次使用者，也可以輕松地進(jìn)行X射線檢查

Easy CT imaging

從X射線透視觀察到CT攝影只需點(diǎn)擊切換圖標(biāo)。對(duì)于透視觀察難以識(shí)別的立體構(gòu)造物品，通過(guò)簡(jiǎn)單的操作就能立刻切換到斷面觀察。

High Speed Scan & Reconstruction

設(shè)備采用了可實(shí)現(xiàn)*自動(dòng)化校正與高速CT 掃描&重建的「Xslicer 」系統(tǒng)。從CT拍攝開(kāi)始到顯示截面圖像最短可在3分鐘以?xún)?nèi)完成。

Easy operation　直觀的操作

通過(guò)大型顯示器以及簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)視認(rèn)性良好的直觀操作。即使對(duì)于初次使用者，也可以輕松地進(jìn)行X射線檢查。

使用大型顯示器

本品采用了27英寸大型顯示器。通過(guò)簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置以及高清晰度的大型檢出器，可在視認(rèn)性良好的狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行仔細(xì)的觀察。

用X射線圖像定位
只需點(diǎn)擊X射線圖像上的任意一點(diǎn)，就可以對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行全行程的移動(dòng)控制。包括 XY·傾斜·旋轉(zhuǎn)以及變更視野大小等。

使用外觀圖像定位
本品使用了拍攝外觀圖像的專(zhuān)用相機(jī)，能夠?qū)φ麄€(gè)載物臺(tái)進(jìn)行攝影。只需在外觀圖像點(diǎn)擊的希望檢查的位置，即可對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行定位。當(dāng)然，操作人員也可以通過(guò)對(duì)外觀圖像進(jìn)行放大或縮小，來(lái)實(shí)現(xiàn)部件級(jí)別的詳細(xì)定位。這樣，操作者的視線無(wú)需離開(kāi)顯視器便可連續(xù)進(jìn)行操作。

Easy operation 操作簡(jiǎn)便

從放入樣品起只需3步即可開(kāi)始X射線透視拍攝。

STEP1更換樣品

按下更換樣品按鈕

●停止發(fā)射X射線
●解除正門(mén)的電磁鎖
●載物臺(tái)會(huì)自動(dòng)移動(dòng)到便于更換樣品的位置

STEP2開(kāi)始檢查

關(guān)閉正門(mén)，按下開(kāi)始按鈕。

● 發(fā)射X射線
● 拍攝整個(gè)載物臺(tái)的外觀圖像

STEP3定位

在拍攝的外觀圖像上確定大致的觀察位置并點(diǎn)擊該位置點(diǎn)，再在X射線透視圖像上點(diǎn)擊鼠標(biāo)，精確確定觀察位置。

由于采用了新的UI（用戶(hù)界面），全部的移動(dòng)操作可通過(guò)點(diǎn)擊或拖拽X射線圖像來(lái)實(shí)現(xiàn)。這樣操作者的視線無(wú)需離開(kāi)監(jiān)視器便可快速進(jìn)行移動(dòng)的操作。

<中心位置移動(dòng) >
若鼠標(biāo)點(diǎn)擊X射線圖像的顯示區(qū)域，則移動(dòng)前圖像上被點(diǎn)擊的位置就成為當(dāng)前顯示區(qū)域的中心。

<放大>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi)，從左往右拖拽鼠標(biāo)，則拖拽的范圍會(huì)放大到全屏顯示。

<縮小>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi)，從右往左拖拽鼠標(biāo)，則畫(huà)面會(huì)按照一定的倍率縮小。

Easy CT imaging 輕松的CT拍攝

對(duì)于透視圖像上不易識(shí)別、具有復(fù)雜的立體構(gòu)造的樣品可分為不同層面進(jìn)行斷面觀察。

CT的原理

當(dāng)平板檢出器傾斜時(shí)，載物臺(tái)一邊進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)，檢出器一邊采集X射線透視圖像，利用采集的透視圖像進(jìn)行重建演算，形成截面圖像。如果只使用X射線透視進(jìn)行觀察，由于在射線方向的信息會(huì)疊加，導(dǎo)致無(wú)法分辨雙面實(shí)裝基板的正反面；但如果使用X射線CT，就可以細(xì)致地觀察每一個(gè)層面。

進(jìn)行X射線透視時(shí)，射線方向（一般為樣品厚度方向）上的信息會(huì)重疊，如果樣品為雙面實(shí)裝基板，則無(wú)法分辨觀察點(diǎn)處于基板的哪一面，但如果使用X射線CT模式檢測(cè)，就可以對(duì)每個(gè)層面單獨(dú)進(jìn)行觀察。

Smooth Switching 順暢切換

只需選擇菜單圖標(biāo)便可輕松實(shí)現(xiàn)X射線透視與CT拍攝之間的切換。CT拍攝的條件設(shè)置十分簡(jiǎn)單，只需選擇拍攝模式、拍攝角度、拍攝視野即可完成。在透視檢查中希望觀察的點(diǎn)可立刻順暢切換至CT觀察模式。

High Speed Scan & Reconstruction高速拍攝＆高速重建

設(shè)備采用新型CT處理引擎「XslicerEngine」，過(guò)去的CT拍攝開(kāi)始前必須的校正作業(yè)現(xiàn)在*自動(dòng)化，真正實(shí)現(xiàn)了高速拍攝。從CT拍攝到顯示截面圖像最快可在3分鐘內(nèi)完成。（※簡(jiǎn)易模式下）
另外，「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度，數(shù)據(jù)采集結(jié)束后僅需5秒便可顯示出截面圖像。