X射線熒光光譜儀由激發光源、單色器、狹縫、樣品室、信號檢測放大系統和信號讀出、記錄系統組成。激發光源提供用于激發樣品的入射光的來源。單色器用來分離出所需要的單色光。信號檢測放大系統用來把熒光信號轉化為電信號，結合放大系統上的讀出裝置可顯示或記錄熒光信號。
X射線熒光光譜儀由光源氙弧燈發出的光通過切光器使其變成斷續之光以及激發光單色器變成單色光后，此光即為熒光物質的激發光，被測的熒光物質在激發光照射下所發出的熒光，經過單色器變成單色熒光后照射于測樣品用的光電倍增管上，由其所發生的光電流經過放大器放大輸至記錄儀，激發光單色器和熒光單色器的光柵均由電動機帶動的凸輪所控制，當測繪熒光發射光譜時，將激發光單色器的光柵，固定在適當的激發光波長處，而讓熒光單色器凸輪轉動，將各波長的熒光強度訊號輸出至記錄儀上，所記錄的光譜即發射光譜(emissionspectrum)，簡稱熒光光譜。
為保持儀器表面清潔，可用洗滌劑稀釋后用干凈的紗布浸濕后擦拭，再用干凈濕紗布擦洗。
X射線熒光光譜儀中的透鏡應保持清潔，如發現不潔現象，可用脫脂棉蘸乙醇和C?H?OC?H?的混合液擰干后擦拭。
原子化室內容易受酸氣和鹽類的侵蝕，因此透鏡前帽蓋和原子化器上會有白色沉淀物形成的斑點，可用干凈的紗布擦拭，以保持清潔。
原子熒光光譜法是一種痕量和超痕量分析方法。因此，在測定較高含量樣品時，應預先稀釋后進行測定，如不慎遇到*含量時(特別是Hg)則管路系統將受到嚴重污染。處理方法可將載流/樣品進樣管放入10%HCl(V/V)溶液中，啟動蠕動泵不斷進行清洗，如仍然難以清洗干凈時，則需更換聚四氟乙稀管路，一般情況下，均可得明顯改善，如仍有殘余難以清除情況下，則需對石英爐管情況，按照說明書將石英爐管拆下，用20—30%王水浸泡24小時左右。然后再用去離子水清洗干凈，晾干或置于烘箱內烘干后使用。
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