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日本新宇宙PS-7復合氣體檢測儀可通過PDA讀取數據
日本新宇宙PS-7復合氣體檢測儀特點
● 通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器
● 傳感器經過校準和交付，無需現場氣體校準。此外，無需工具即可輕松更換傳感器
● 小巧·輕便的設計
● 通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報警狀態和錯誤信息
● 采樣流量的自動控制功能
● 當插入與設置不同的傳感器時，傳感器具有防止錯誤插入的功能
● 通過連接PDA，可以獲取存儲在檢測單元中的數據
● 轉換器單元（選件）可用于檢測NF3和CCl2。
● 符合CE標準
● 符合SEMI標準
02.連接方式
日本新宇宙PS-7復合氣體檢測儀參數
※1. 推薦使用特氟龍。但是如果是吸附性較強的氣體時，根據使用情況的不同也將有所差異，因此，請向本公司進行咨詢。產品有可能改進而對上述規格進行修改，對此恕不預先通知用戶。
※2. 僅限于附帶轉換器件的產品。
04.對應氣體一覽表
