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超臨界萃取技術是現代化工分離技術的 新學科,是目前上興起的一種*的分離工藝。超臨界萃取是指在一定的壓力、合適的溫度下,在萃取缸中,溶劑與被萃取物充分接觸,溶質擴散到溶劑中,再在分離器中改變工作條件,使溶解物質析出,以達到分離的目的。
超臨界萃取有如下特點:
1、 萃取溫度低,制品不會被分解。
2、 對溫度和壓力的精確控制,可以實現有選擇的萃取。
3、 制品中無溶劑殘留。
4、 溶劑可以循環使用。
5、 無環境污染。
超臨界流體萃取技術以CO2 作為溶媒,其優點:
1、 CO2 的超臨界狀態容易實現。
2、 對食品和藥品無毒性污染。
3、 有防止細菌活動的作用。
4、 不易燃燒,化學穩定性好。
5、 價格低廉,經濟性好。
該超臨界清洗裝置主要是應用超臨界CO2萃取原理來實現對半導體硅片的清洗。
裝置特點:
1、工藝方面:
(1) 能滿足超臨界二氧化碳(Tc≥31.06℃、Pc≥7.39MPa)的間歇式工作條件,二氧化碳可循環利用。
(2) 在清洗器前設計了混合器,可使CO2進入清洗器前充分的與夾帶劑預混。
(3) 清洗器堵蓋上設計了一個快開式觀察孔,可方便觀察。
(4) 清洗器后的管路上,通過一級、二級過濾分離裝置實現了氣、液、渣的分離,確保了系統管路暢通、不堵塞。
(5) 一級、二級分離裝置均設計有水夾套及外保溫裝置,采用兩套恒溫水浴及低溫冷卻液來控制來控制一級、二級分離器的溫度,并確保了 終出來的CO2成為氣態被回收再利用。
(6) 清洗器設置了獨立的內加熱裝置和低溫冷水循環系統,溫度在-15℃-200℃范圍內可調。
2、控制系統方面:
(1) 清洗器、一級分離裝置、二級分離裝置等關鍵監測點的壓力、溫度設計了壓力傳感器和溫度探頭以及帶通訊口的數顯二次儀表,可實現與計算機聯網,由計算機實時監控并記錄。
(2) 二氧化碳泵及夾帶劑泵自帶流量顯示功能,可與計算機聯網,及時采集和控制CO2和夾帶劑的流量,可實現計算機實時監控。
(4)在清洗器后設計了手動背壓閥,可精確控制清洗器的壓力。
3、安全保護方面:
(1) 清洗器、一、二級分離器上均設計了安全閥。
(2) 二氧化碳的排氣設計了匯氣排,可統一排放到外界控制去,靜化了室內空氣,又減少了室內放氣的噪音。
二、主要技術參數:
1、 裝置 大工作壓力: 15Mpa;
2、 裝置工作溫度范圍:-15—200℃
3、 CO2泵 大流量:60mL/min, 大壓力15Mpa
4、 夾帶劑泵 大流量:20mL/min, 大壓力15Mpa
5、 5、視窗窗口:φ30mm。
6、 6、壓力測試量程16MPa、壓力傳感器精度0.25級;
7、 9、設備及控制系統均需可靠接地,接地電阻小于4歐姆。
8、 10、總功率:10KW