美國(guó)TEM-250-32過濾器是專門設(shè)計(jì)的用于過濾半導(dǎo)體氣體當(dāng)需要超高流速時(shí)。這是全焊接的組件將提供0.003微米的顆粒保留需要高流速且空間有限的地方。聚四氟乙烯膜和聚丙烯支撐濾芯封裝在316L不銹鋼電拋光焊接外殼中。最后的裝配用清洗劑清洗過濾氮?dú)庥糜诔跏记鍧嵍取L峁┒喾N配件類型,便于安裝。
美國(guó)TEM-250-32過濾器日常維護(hù)保養(yǎng):
①、粗濾過濾器
1、過濾器的核心部位是過濾器芯件,過濾芯由過濾器框和不銹鋼鋼絲網(wǎng)組成,不銹鋼鋼絲網(wǎng)屬宜損件,需特別保護(hù);
2、當(dāng)過濾器工作一段時(shí)間后,過濾器芯內(nèi)沉淀了一定的雜質(zhì),這時(shí)壓力降增大,流速會(huì)下降,需及時(shí)清除過濾器芯內(nèi)的雜質(zhì);
3、清洗雜質(zhì)時(shí),特別注意過濾芯上的不銹鋼鋼絲網(wǎng)不能變形或損壞,否則,再裝上去的過濾器,過濾后介質(zhì)的純度達(dá)不到設(shè)計(jì)要求,壓縮機(jī)、泵、儀表等設(shè)備會(huì)遭到破壞;
4、如發(fā)現(xiàn)不銹鋼鋼絲網(wǎng)變形或損壞,需馬上更換。
②、精密過濾器
1、精密過濾器的核心部位是過濾濾芯,過濾芯由特殊的材料組成,屬宜損件,需特別保護(hù);
2、當(dāng)精密過濾器工作一段時(shí)間后,過濾器濾芯攔載了一定量的雜質(zhì),這時(shí)壓力降增大,流速會(huì)下降,需及時(shí)清除過濾器內(nèi)的雜質(zhì),同時(shí)要清洗濾芯;
3、在清除雜質(zhì)時(shí),特別注意精密濾芯,不得變形或損壞,否則,再裝上去的濾芯,過濾后介質(zhì)的純度達(dá)不到設(shè)計(jì)要求;
4、某些精密濾芯,不能多次反復(fù)使用,如袋式濾芯、聚丙烯濾芯等;
5、如發(fā)現(xiàn)濾芯變形或損壞,需馬上更換。
三。注意防銹,在法蘭片處要刷油漆或者黃油,還要做保溫
應(yīng)用
•一般和工藝惰性氣體設(shè)施。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*)包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。規(guī)格
•3nm過濾器額定值我們的多孔PTFE過濾器提供高效的顆粒過濾器0.003μm時(shí)的保留效率。
•高工作溫度70攝氏度(158華氏度)。建議更換時(shí)間:6個(gè)月 以最大規(guī)格運(yùn)行。
•最大工作壓力在20攝氏度(68華氏度)下為17.2巴(250磅/平方英寸)。
美國(guó)TEM-250-32過濾器在美國(guó)制造潔凈室,以確保無顆粒,化學(xué)清潔、無有機(jī)物的搬運(yùn)和裝袋提供高的包裝外清潔度。
附加預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項(xiàng)易于安裝和靈活性。標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封(至1“),壓縮、對(duì)焊和NPT專用配件,包括三夾(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型可能可用。
東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化設(shè)備有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司,廠家一手貨源,詳請(qǐng)致電。