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真空系統(tǒng)工藝應(yīng)用,需要測量真空性能。用于真空測量的設(shè)備被稱為真空計,測量范圍從高于大氣壓 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 至 10-12 mbar/torr ,沒有任何一種技術(shù)能夠在此大范圍內(nèi)測量。
因此,萊寶提供了多種不同的真空計,每種真空計都有自己的特點,能夠在自己的量程內(nèi)測量真空。為了擴大測量范圍,可以將多種技術(shù)組合到一個真空計中,以減少系統(tǒng)中所需的連接。
真空測量原理分類:直接測量和間接測量。
如果是直接測量(測量結(jié)果氣體種類無關(guān)),通過真空計獲得的讀數(shù)與氣體類型無關(guān),測得的壓力始終是系統(tǒng)的真實壓力。這些真空計通常依靠膜片的機械偏轉(zhuǎn)來運行,其測量范圍是從高于大氣壓力至 10-4 mbar/torr 壓力。此類真空計可以在較小量程內(nèi)提供高精度,并且通常非常堅固。
如果是間接測量,測量通過氣體相關(guān)特性(例如熱導(dǎo)率、電離概率)進行測定。這些特性不僅取決于壓力,還取決于氣體的摩爾質(zhì)量,所以測量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。真空計讀數(shù)以的空氣或氮氣標定,對于其他蒸汽或氣體,必須增加相應(yīng)的修正系數(shù)。此類真空計能夠在更廣的范圍(大氣壓至 10 x 10-12mbar 壓力,具體取決于真空計類型/組合)測量,但精度略低。
區(qū)分真空計的另一個判斷依據(jù)是傳感器還是變送器。萊寶既提供真空變送器,也提供真空傳感器。
真空變送器是指將傳感器與信號控制和輸出電子器件結(jié)合在一起,以便輕松集成到系統(tǒng)中。
無源測量是指將傳感器與電子器件分離,然后將電子器件單獨保留在專用控制器中。其優(yōu)點是,它們可在電子器件無法正常工作的環(huán)境(例如高輻射環(huán)境)中使用,并且可以從上述環(huán)境中移除單獨的控制器。
寬量程真空測量
在寬泛的真空范圍內(nèi)進行穩(wěn)定、可靠、準確的壓力測量。
THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特別適用于監(jiān)控粗真空和前級真空。
PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空測量,也稱為全量程真空計。
IONIVAC ITR/IE 系列 – 將真空計量程擴展到超高真空范圍。
精密真空測量
在惡劣的環(huán)境中實現(xiàn)高水平的準確性和重復(fù)性,這些真空計是精細系統(tǒng)控制的理想選擇。
CERAVAC CTR 真空計 - 電容薄膜真空計系列的好選擇。
DI/DU 真空計 - 準確性略低,但適用于臟污/潮濕/多塵環(huán)境。
真空泵和真空計控制器
對既需要顯示測量結(jié)果又將測量結(jié)果集成到控制系統(tǒng)中的需求,萊寶提供一系列控制器,可供您選擇。
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