1、光源
光源是 塵埃粒子計數器 的關鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩定性高、壽命長、不受干擾。
光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。
2、測量腔
測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內穿過。儀器的光學系統使光源經透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區。當空氣中的塵埃通過光敏感區時，會散射出一部分光能量，被與人射光成一角度(900或700)的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。
3、光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉換為電信號的光電轉換器件。 塵埃粒子計數器 中較常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。
光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，光譜具有線性好、響應時間快、暗電流小的優點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產生電路，在對儀器進行調試或校準時應注意安全。
光電二極管是一種受到光照后能產生電子的半導體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。
4、流里監控
目前國產塵埃粒子計數器常采用轉子流量計作流量指示，儀器的流量調節大多數是直接調節轉子流量計上的旋鈕，此時儀器的控制電路對流量是沒有監控的。進口塵埃粒子計數器通過流量傳感器對流量進行監測，通過手動調節或自動反饋調節。
5、氣泵及過濾器
氣泵位于儀器內部，使儀器產生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產生的氣流穩定。過濾器應能過濾掉0.3ftm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區產生影響。
6、電路系統
不同粒徑大小的粒子經塵埃粒子計數器的光電系統轉換后，會產生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關系，也叫轉換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的。
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