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OLS4100-工業(yè)激光共焦顯微鏡LEXT OLS4100
  • OLS4100-工業(yè)激光共焦顯微鏡LEXT OLS4100
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更新時(shí)間:2024-09-17 21:00:05

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激光共焦顯微鏡提供全新的3D形貌分析方案*的測(cè)量更大的樣品范圍輕松檢測(cè)85°尖銳角采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)(能Z大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。

激光共焦顯微鏡提供全新的3D形貌分析方案


的測(cè)量

更大的樣品范圍

輕松檢測(cè)85° 尖銳角

Razor with an Acute Angle
有尖銳角的樣品(剃刀)
激光共焦顯微鏡采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)(能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。
LEXT-Dedicated Objective Lenses
LEXT 物鏡
Non-Exclusive Objective Lens
使用物鏡時(shí)的zui小象差

 

高度分辨率10 nm,輕松測(cè)量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT)
(MPLAPON50XLEXT)
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè)
由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法,例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線(請(qǐng)參閱第23 頁),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

 

克服反射率的差異

Overcoming Reflectance Differences
鉆石電鍍工具
物鏡:MPLAPON50XLEXT
OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng),結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器,那些具有不同反射率材料的樣品,也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

 

適用于透明層

多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域,并將各層設(shè)為焦點(diǎn),這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量,而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。
Multi-Layer Mode

觀察/測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層,也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
Observation/Measurement of Multiple Layers of Transparent Material

 

工業(yè)領(lǐng)域** 的兩項(xiàng)性能保證

 

正確性和重復(fù)性

Accuracy and Repeatability通常表示測(cè)量儀器的測(cè)量精度的,有2 個(gè)指標(biāo):"正確性",即測(cè)量值與真正值的接近程度,和"重復(fù)性",即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界*同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

 

追溯體系

Traceability SystemOLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成,并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí),由選拔出來的技術(shù)人員,在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和zui后的調(diào)整。

 

更多的測(cè)量類型

高度測(cè)量

Step Measurement

可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。
輪廓測(cè)量也同樣可用

表面粗糙度測(cè)量

Surface Roughness Measurement

可以測(cè)量線粗糙度,以及平面整體的面粗糙度。

 

 

面積/體積測(cè)量

Area/Volume Measurement

根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值,可以測(cè)量其上部或下部的體積。

粒子測(cè)量 (選購件)

Particle Measurement1

可以通過分離功能使粒子自動(dòng)分離,設(shè)置閾值,根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。

 

 

幾何測(cè)量

Geometric Measurement1

可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。

膜厚測(cè)量 (選購件)

Film Thickness Measurement*

可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置,測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。

 

 

自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購件)

Auto Edge Detection/ Measurement*

可以自動(dòng)尋邊,測(cè)量線寬和圓,減少人為的測(cè)量誤差。

  

 

OLYMPUS Stream (選購件)

工作流程解決方案,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量,可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件,該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

想了解更多OLYMPUS Stream相關(guān)內(nèi)容 >

 

更精準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量

LEXT OLS4100 激光共焦顯微鏡參數(shù)

作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn),奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量儀同樣的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣,對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀的用戶來說,能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外,還搭載了粗糙度模式,可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離zui長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量儀相同的表面輪廓參數(shù),因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。

截面曲線Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲線Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波動(dòng)曲線Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
負(fù)荷曲線Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本圖形R, Rx, AR, W, , AW, Wte
粗糙度 (JIS1994)Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他R3z, P3z, PeakCount

適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 激光共焦顯微鏡具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)參數(shù)。通過評(píng)估平面區(qū)域,可以進(jìn)行高可靠性的分析。

振幅參數(shù)Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能參數(shù)Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
體積參數(shù)Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
橫向參數(shù)Sal, Str

• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量儀的結(jié)果相兼容。
surface roughness gauge

 

微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀,無法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑,所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。
Micro Roughness1
Micro Roughness2

 

非接觸式測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀測(cè)量柔軟的樣品時(shí),樣品容易受到探針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上,無法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100,不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài),可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品
的表面粗糙度。
Polymer Film 3D image
高分子薄膜3D 影像(上)和粗糙度測(cè)量結(jié)果(左)
Results of Roughness Measurement

Soft Specimen
柔軟的樣品
Adhesive Specimen
帶有粘性的樣品

 

微米級(jí)特征的測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀,其探針無法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域,所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位,能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

Bonding Wires
焊線
Measurement of Features at the Micron Level

 

高畫質(zhì)影像

 

清晰鮮明的3D 彩色影像

激光共焦顯微鏡三種類型的綜合影像

Real-Color 3D Image
真彩3D 影像
LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類型的影像信息:真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。
Confocal 3D Laser Image
激光全焦點(diǎn)3D 影像
Height Information
高度信息影像

 

再現(xiàn)自然色

OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以與高級(jí)的激光共焦顯微鏡相媲美。

2D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
2D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x)
3D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
3D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x)

 

更加真實(shí)地再現(xiàn)表面, 激光DIC(激光微分干涉)

微分干涉觀察是超越了激光共焦顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差,生成明暗對(duì)比,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式,即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

Laser Image with No DIC (Polymer Film)
無DIC 的激光影像(高分子薄膜)
Laser Image with DIC (Polymer Film)
有DIC 的激光影像(高分子薄膜)
 
Laser Image with No DIC (5x Objective Lens)
無DIC 的激光影像(5x 物鏡)
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany
Laser Image with DIC (5x Objective Lens)
有DIC 的激光影像(5x 物鏡)
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度:6 nm
 

 

亮度和對(duì)比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR(高動(dòng)態(tài)范圍)影像

OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像,并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度,因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。

Color Image without HDR (Super-Density Fabric, Objective Lens 20x, Zoom 1x)
無HDR 的彩色影像
(致密的織物、物鏡20x、變焦1x)
Color Image with HDR (Super-Density Fabric, Objective Lens 20x, Zoom 1x)
有HDR 的彩色影像
(致密的織物、物鏡20x、變焦1x)
Algorithm
算法

 

激光共焦顯微鏡穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境

Hybrid Vibration-Dampening Mechanism
復(fù)合減震機(jī)構(gòu)
為了排除來自外部的影響,穩(wěn)定測(cè)量和成像,OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以,可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè),不需要的防震平臺(tái)。

 

激光共焦顯微鏡直觀的GUI 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程

 

簡易的三步流程

使用LEXT OLS4100,只需將樣品放置在載物臺(tái)上之后即可立即開始觀察/測(cè)量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測(cè)量和報(bào)表——即使用戶不熟悉激光共焦顯微鏡,也可以快速掌握測(cè)量的流程。
Easy Three-Step Process

 

始終明白"身在何處"

宏觀圖功能

OLS4100 激光共焦顯微鏡的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像,并在宏觀影像上顯示一個(gè)矩形觀察標(biāo)記。該視場可以通過拼圖設(shè)置為傳統(tǒng)視場的441 倍。當(dāng)配合電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器時(shí),宏觀圖功能可以對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)和倍率更改實(shí)現(xiàn)平滑、便捷的一鍵操作。可
以精確預(yù)設(shè)齊焦和確定物鏡的中心,并可通過一鍵移動(dòng)載物臺(tái)和調(diào)整倍率進(jìn)行同步。
Macro Map Functionality

快速的宏觀圖拼接

Fast Macro Map Stitching掃描大面積區(qū)域時(shí)有兩種拼接方法可用:獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非常快速簡單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始,并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級(jí)拼接尺寸可用,分別為:3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對(duì)于影像上不需要的部分,可以使用簡單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動(dòng)刪除。

 

用于簡易3D 成像的智能掃描

自動(dòng)3D 影像獲取

傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置,這對(duì)新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式,即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置,系統(tǒng)也會(huì)根據(jù)要獲取的影像自動(dòng)設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得精確的高度測(cè)量和優(yōu)質(zhì)的影像。

激光共焦顯微鏡 3D 成像
3D Imaging

自動(dòng)亮度控制
Automatic Brightness Control
平面上的亮度控制一定高度范圍內(nèi)的亮度控制。

大大縮短了獲取時(shí)間
Greater Reduction of Acquisition Time

 

更快的掃描速度

新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍,約是精細(xì)模式的9 倍。因此,對(duì)于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動(dòng)和*的放大倍率的樣品,該模式就非常地適用,例如對(duì)刀具的*進(jìn)行檢測(cè)。

相同時(shí)間內(nèi)獲取的影像數(shù)量:
Number of images acquired in the same amount of elapsed time:
實(shí)際的掃描時(shí)間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。

 

只在所需區(qū)域進(jìn)行高速獲取

OLS4100 還配備了帶寬掃描模式,用于測(cè)量有限的目標(biāo)區(qū)域,測(cè)量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。

Acquisition with a Full Scan
全局掃描獲取
Acquisition with Band Scan (1/8th )
帶寬掃描獲取(1/8)

 

全新的高速拼接模式

從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域

在宏觀圖中,要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行。在自動(dòng)模式中,通過設(shè)置zui多625 幅影像的矩形拼接尺寸,可以自動(dòng)生成區(qū)域圖,所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步,在區(qū)域圖上所需的影像并立即開始觀察。
high speed stiching

Stitching Area: Square (21x3) 63 Pieces
拼接區(qū)域:方形(21×3)63 片
Stitching Area: Circle (3 Points)
拼接區(qū)域:圓形(3 點(diǎn))

 

手動(dòng)所需的影像區(qū)域

在實(shí)時(shí)模式中,通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域,可以手動(dòng)選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時(shí),該功能非常實(shí)用。
Manually Specifying Required Image Areas

 

快速影像拼接

要使用智能掃描模式獲取影像時(shí),只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì)自動(dòng)調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置,Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域,因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時(shí)節(jié)省很多時(shí)間。

Conventional Acquisition Mode
智能掃描模式
Smart Scan Mode
傳統(tǒng)獲取模式

 

一鍵操作定制報(bào)表

OLS4100 激光共焦顯微鏡在測(cè)量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表,而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報(bào)表模板。將測(cè)量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡單,就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報(bào)表一樣。
Report creation

 

目標(biāo)的一鍵解決方案

為用戶設(shè)計(jì)的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓(xùn),讓新手也能快速簡單地進(jìn)行操作。

Wizard Function
 

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