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更新時(shí)間:2024-09-17 21:00:05
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輕松檢測(cè)85° 尖銳角
有尖銳角的樣品(剃刀) | 激光共焦顯微鏡采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)(能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。 |
LEXT 物鏡 | 使用物鏡時(shí)的zui小象差 |
高度分辨率10 nm,輕松測(cè)量微小輪廓
(MPLAPON50XLEXT) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè) | 由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法,例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線(請(qǐng)參閱第23 頁),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。 |
克服反射率的差異
鉆石電鍍工具 物鏡:MPLAPON50XLEXT | OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng),結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器,那些具有不同反射率材料的樣品,也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。 |
適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域,并將各層設(shè)為焦點(diǎn),這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量,而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。
觀察/測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層,也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
通常表示測(cè)量儀器的測(cè)量精度的,有2 個(gè)指標(biāo):"正確性",即測(cè)量值與真正值的接近程度,和"重復(fù)性",即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界*同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。 |
OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成,并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí),由選拔出來的技術(shù)人員,在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和zui后的調(diào)整。 |
高度測(cè)量 可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 | 表面粗糙度測(cè)量 可以測(cè)量線粗糙度,以及平面整體的面粗糙度。 |
面積/體積測(cè)量 根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值,可以測(cè)量其上部或下部的體積。 | 粒子測(cè)量 (選購件) 可以通過分離功能使粒子自動(dòng)分離,設(shè)置閾值,根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。 |
幾何測(cè)量 可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。 | 膜厚測(cè)量 (選購件) 可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置,測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。 |
自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購件) 可以自動(dòng)尋邊,測(cè)量線寬和圓,減少人為的測(cè)量誤差。 |
工作流程解決方案,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量,可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件,該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
想了解更多OLYMPUS Stream相關(guān)內(nèi)容 >
LEXT OLS4100 激光共焦顯微鏡參數(shù)
作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn),奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量儀同樣的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣,對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀的用戶來說,能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外,還搭載了粗糙度模式,可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離zui長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量儀相同的表面輪廓參數(shù),因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。
截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
波動(dòng)曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
負(fù)荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
基本圖形 | R, Rx, AR, W, , AW, Wte |
粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 激光共焦顯微鏡具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)參數(shù)。通過評(píng)估平面區(qū)域,可以進(jìn)行高可靠性的分析。
振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
橫向參數(shù) | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量儀的結(jié)果相兼容。
微細(xì)粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀,無法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑,所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。
非接觸式測(cè)量 使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀測(cè)量柔軟的樣品時(shí),樣品容易受到探針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上,無法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100,不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài),可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品的表面粗糙度。 | |
高分子薄膜3D 影像(上)和粗糙度測(cè)量結(jié)果(左) |
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
微米級(jí)特征的測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量儀,其探針無法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域,所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位,能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。
焊線 |
激光共焦顯微鏡三種類型的綜合影像
真彩3D 影像 | LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類型的影像信息:真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。 |
激光全焦點(diǎn)3D 影像 | 高度信息影像 |
再現(xiàn)自然色 OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以與高級(jí)的激光共焦顯微鏡相媲美。 | |
2D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x) | 3D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x) |
微分干涉觀察是超越了激光共焦顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差,生成明暗對(duì)比,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式,即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
無DIC 的激光影像(高分子薄膜) | 有DIC 的激光影像(高分子薄膜) | |
無DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany | 有DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度:6 nm |
OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像,并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度,因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。
無HDR 的彩色影像 (致密的織物、物鏡20x、變焦1x) | 有HDR 的彩色影像 (致密的織物、物鏡20x、變焦1x) |
算法 |
復(fù)合減震機(jī)構(gòu) | 為了排除來自外部的影響,穩(wěn)定測(cè)量和成像,OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以,可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè),不需要的防震平臺(tái)。 |
使用LEXT OLS4100,只需將樣品放置在載物臺(tái)上之后即可立即開始觀察/測(cè)量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測(cè)量和報(bào)表——即使用戶不熟悉激光共焦顯微鏡,也可以快速掌握測(cè)量的流程。
宏觀圖功能
OLS4100 激光共焦顯微鏡的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像,并在宏觀影像上顯示一個(gè)矩形觀察標(biāo)記。該視場可以通過拼圖設(shè)置為傳統(tǒng)視場的441 倍。當(dāng)配合電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器時(shí),宏觀圖功能可以對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)和倍率更改實(shí)現(xiàn)平滑、便捷的一鍵操作。可
以精確預(yù)設(shè)齊焦和確定物鏡的中心,并可通過一鍵移動(dòng)載物臺(tái)和調(diào)整倍率進(jìn)行同步。
快速的宏觀圖拼接
掃描大面積區(qū)域時(shí)有兩種拼接方法可用:獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非常快速簡單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始,并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級(jí)拼接尺寸可用,分別為:3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對(duì)于影像上不需要的部分,可以使用簡單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動(dòng)刪除。 |
自動(dòng)3D 影像獲取
傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置,這對(duì)新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式,即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置,系統(tǒng)也會(huì)根據(jù)要獲取的影像自動(dòng)設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得精確的高度測(cè)量和優(yōu)質(zhì)的影像。
激光共焦顯微鏡 3D 成像
自動(dòng)亮度控制 | |
平面上的亮度控制 | 一定高度范圍內(nèi)的亮度控制。 |
大大縮短了獲取時(shí)間
更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍,約是精細(xì)模式的9 倍。因此,對(duì)于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動(dòng)和*的放大倍率的樣品,該模式就非常地適用,例如對(duì)刀具的*進(jìn)行檢測(cè)。
相同時(shí)間內(nèi)獲取的影像數(shù)量:
實(shí)際的掃描時(shí)間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。
只在所需區(qū)域進(jìn)行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式,用于測(cè)量有限的目標(biāo)區(qū)域,測(cè)量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。
全局掃描獲取 | 帶寬掃描獲取(1/8) |
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
在宏觀圖中,要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行。在自動(dòng)模式中,通過設(shè)置zui多625 幅影像的矩形拼接尺寸,可以自動(dòng)生成區(qū)域圖,所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步,在區(qū)域圖上所需的影像并立即開始觀察。
拼接區(qū)域:方形(21×3)63 片 | 拼接區(qū)域:圓形(3 點(diǎn)) |
手動(dòng)所需的影像區(qū)域
在實(shí)時(shí)模式中,通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域,可以手動(dòng)選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時(shí),該功能非常實(shí)用。
快速影像拼接
要使用智能掃描模式獲取影像時(shí),只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì)自動(dòng)調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置,Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域,因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時(shí)節(jié)省很多時(shí)間。
智能掃描模式 | 傳統(tǒng)獲取模式 |
OLS4100 激光共焦顯微鏡在測(cè)量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表,而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報(bào)表模板。將測(cè)量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡單,就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報(bào)表一樣。
為用戶設(shè)計(jì)的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓(xùn),讓新手也能快速簡單地進(jìn)行操作。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)