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[供應]STGC-60-17-1700℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區】300mm
【額定溫度】1700℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。
【產品名稱】1700℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區】300mm
【額定溫度】1700℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】1700℃-CVD管式爐是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。
一、 產品描述
系列產品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優質的爐膛材料和穩定的溫度控制系統，可保證實驗數據的可靠性；產品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質優良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進氣口和出氣口，可通入保護氣體，精密針型閥可調節進氣流量。
二、產品特點
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結構，高溫不變形、堅固耐用
2、 發熱體采用硅鉬棒，可承受負荷大，穩定且使用壽命長
3、 爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸，方便進出被燒結樣品
4、 升溫速度快，從室溫升到1700攝氏度，一般需要100分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補償和溫度校正功能，精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能，可設定升溫曲線，可編程序30段
7、 一體式結構，出色的外觀設計，美觀、大方
8、 電子元器件均采用德力西產品，帶有漏電保護功能
9、 本機對工作過程中的超溫會發出報警信號，并自動完成保護動作
10、當儀表程序設定完成后，只要按下運行按鈕，接下來的工作會自動完成
11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實現對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數據進行分析和打印
12、可選配氣體質量流量計，通入氣體可數字精確控制
型號 | STGC-25-17 | STGC-40-17 | STGC-60-17 | STGC-80-17 | STGC-100-17 | STGC-120-17 |
爐管尺寸 | Φ25 x 900mm | Φ40 x 900mm | Φ60 x 900mm | Φ80 x 900mm | Φ100 x 900mm | Φ120 x 900mm |
額定溫度 | 1700℃ | |||||
工作溫度 | 1600℃ | |||||
加熱區尺寸 | 300mm | |||||
電源電壓 | 220V/2KW | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/5KW | 220V/8KW |
加熱元件 | U型硅鉬棒 | |||||
爐膛材料 | 濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料 | |||||
爐管材料 | 剛玉管 | |||||
控溫精度 | ±1℃ | |||||
測溫元件 | B型鉑銠熱電偶 | |||||
溫控儀表 | 智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數自整定功能；可編程序30個時段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 | |||||
升溫速度 | 1-15℃/min自由調節 | |||||
爐體結構 | 爐膛溫控一體式結構，雙層外殼，空氣循環隔熱 | |||||
密封性能 | 爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作， 密封真空度≤0.0001pa | |||||
氣氛性能 | 法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調節進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體 | |||||
真空獲得 | 配套獨立的真空獲得系統，系統內配有1臺雙極旋片式真空泵和數字真空計，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機組 | |||||
氣路系統 | 配套獨立的氣路系統，系統有三路浮子流量計組成，有混氣室，可單進單出也可三路氣體混氣后進入管式爐系統，浮子流量計量程：60-600ml/min；也可選擇自動質量流量計系統，控制精度±1.5%FS，重復精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM | |||||
設備保護 | 模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發出聲光報警信號，并自動完成保護動作 | |||||
人員保護 | 在設備上裝有空開斷路器，如發生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設備和操作人員 | |||||
外殼 | 優質冷軋鋼板數控機床下料加工，經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 | |||||
質量認證 | ISO9001 CE SGS TUV | |||||
標準配置 | 1、爐體一臺 2、溫度控制器一臺 3、電源線3米 4、熱電偶一支 5、說明書一份 6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個 9、密封法蘭一套 | |||||
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